(1) 시료 스테이지
1) X-축 시료대 이동 :
스트로크 ± 12.5mm 이상, 마이크로 미터 최소단위 : 10 um / Scale or less
2) Y-축 시료대 이동 :
스트로크 ± 12.5mm 이상, 마이크로 미터 최소단위 : 10 um / Scale or less
3) 회전 시료대 이동 : 거친 이동 360 °, 미세 이동 ± 5 ° or less
4) X-축 각도계(Goniometer) 이동 : 스트로크 ± 3 ° or wider
5) Y-축 각도계(Goniometer) 이동 : 스트로크 ±2.5° or wider
(2) 절삭 블레이드 장치
1) 수평 속도 : 0.04 ~ 50 um/sec or wider, 최소 속도 = 40 nm/s or less
2) 수평 속도 : 0.004 ~ 5 um/sec or wider, 최소 속도 = 4 nm/s or less
3) 기계적 단면 확대 배율 : x 700 배 (샘플에 따라 다름) or more
배율은 기본적으로 수평과 수직속도의 비율에 따라 절단 이론에 의해 결정됩니다.
수평 및 수직 속도, 그리고이 배율은 샘플의 두께 및 물리적 특성에 따라 영향을 받습니다.
4) 수평 부하 감지기 : 20N, Display=0.001 N or less
5) 수직 부하 감지기 : 20N, Display=0.001N or less
6) 최대 측정거리 : 수평 = 20mm, 수직 = 1mm (시료에 의존) or wider
7) 측정 시간 : 10 ~ 9999 sec or wider
(3) 수직 변위계
1) 디스플레이(Display) : 0.1um or less
2) 측정 두께 범위 : 1 ~ 1000um (시료에 의존) or wider