주식회사 에스이에이
SEAbatch 200
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2024-03-08
1,238,913,520원
없음
태양전지 표면조직화 및 클리닝 장비
태양전지용 Si 기판 표면에 습식 식각 방식으로 피라미드 구조를 형성
태양전지용 Si 기판 표면에 잔류하는 유/무기 오염물질 제거를 위한 습식 클리닝
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 3,000,000원
태양전지용 결정질 실리콘 기판 표면에 습식 식각 방식으로 피라미드 구조를 형성하기 위한 공정 설비
태양전지용 결정질 실리콘 기판의 표면 오염물질 제거를 위한 습식 클리닝 공정 장비
Demension: 12,825mm x 1,820mm x 3,000mm(L x W x H)
Throughput: 1200 wph gross
Uptime: > 95%
Number of transpotable carriers by TU: 2
Wafer size: M6(166mm x 166mm, Wafer size can be M12 after modification.)
Frame 사양: SUS 304 / 내산성 도장 / PP-W covering
외장: PP-W 및 투명 PVC 적용
내부 배관 재질: PP-N, PP-H, PVC-U