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장비정보

제작사
Bruker
모델 명
Icon

내용연수
8년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-11-20

취득금액
373,122,000원
인증정보
없음
기능
대면적 원자힘현미경 장비는 시료의 원자와 캔틸레버가 상호작용하면서 표면의 높낮이를 영상으로 재구성하여 평가하는 분석 장비
장비 상세설명
대면적 원자힘현미경 장비는 기본 4-inch, 6-inch, 8-inch를 기반으로 최대 12-inch까지 반도체 필수 소재인 웨이퍼를 비파괴 상태로 분석할 수 있는 기반을 갖추고 있어야 하며 점점 커지고 있는 웨이퍼 소재의 정밀하고 안정적인 분석을 위해서 웨이퍼의 크기 및 무게에 전혀 영향을 받지 않은 팁-스캔 기술을 적용한 대면적 스테이지 원자힘현미경을 사용하여 분석 지원

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 94,000원

장비설명

대면적 원자힘현미경 장비는 기본 4-inch, 6-inch, 8-inch를 기반으로 최대 12-inch까지 반도체 필수 소재인 웨이퍼를 비파괴 상태로 분석할 수 있는 기반을 갖추고 있어야 하며 점점 커지고 있는 웨이퍼 소재의 정밀하고 안정적인 분석을 위해서 웨이퍼의 크기 및 무게에 전혀 영향을 받지 않은 팁-스캔 기술을 적용한 대면적 스테이지 원자힘현미경을 사용하여 분석 지원

장비 구성 및 성능

1. 원자힘현미경 베이스
1) Large Stage Sample loading : 300mm 이상
2) AFM 측정기술 : Tip scan 가능
3) Imaging noise level : 0.3Å 이하
4) Vertical resolution : 0.02nm 이하
5) X-Y resolution : 0.1nm 이하
2. 샘플 스테이지
1) Software-controlled Motorized XY stage : 지름 300mm 이상
2) Software-controlled Motorized XY stage : 높이 15mm 이상
3. 옵티컬 현미경
1) Top-view optics with motorized focus & digital zoom
2) The resolution of the optics : 1.6μm 이하
3) The optics 구성 : 5-Megapixel camera 이상

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장비 매뉴얼