정민실업
JM-VSF-2504-2
11년
주장비
생산
기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 전기/소결로
공동활용서비스
2025-04-28
519,022,480원
없음
○ 1800~2400 ℃이상의 소성 온도에서 세라믹 나노분말의 고온 소성/소결 공정을 통한 불순물 및 유기성분 제고와 치밀도 및
결정성 향상을 구현할 수 있는 진공로(Furnace)
- 질화/산화/탄화물 나노입자 형성 및 표면처리
- 비산화물(SiC, Si₃N₄) 소재의 상압 소결 및 소성 처리
○ 세라믹 패키지 제조
- HTCC/LTCC는 질화 알루미늄 그린 세라믹 테이프를 약 1500 ~ 1800℃이상의 소성 온도를 필요로 하기 때문에 융점이
높은 W 계, 또는 Mo 계의 금속 페이스트를 사용하여, 스크린 인쇄를 통해 그린 세라믹 테이프에 인쇄되어 금속회로를 형성
되며, 조성물과 동등한 수준의 강도를 구현 할 수 있음
- 절연체의 조성물의 동시 소성 시 Ni 주성분으로 하는 전극의 산화 억제가 필요하므로 H₂ 농도를 최대 3% 이하에서 강한
환원 분위기에서 소성 공정을 통해 전극인쇄, 가공, 전극형성으로 3차원 구조의 복잡한 평판, cavity 구조를 빠르고 신속
한 소성(성형) 공정을 구현할 수 있음
직접사용
고정형
시간별
[Hr] 200,000원
1) 본 장비는 세라믹 성형체 및 분말등을 N2, Ar 공정가스 유량, 압력 및 온도 조절을 통해 다양한 조건에서
세라믹 나노분말 및 패키지 가공 가능
2) 최고온도 2400℃, N2 or Ar 상압조건 및 진공상태에서 H₂ 농도를 최대 3% 이하에서 강한 환원 분위기에서
소성/소결 작업 가능
3) 고온 소결 공정을 통한 불순물 및 유기성분 제고와 치밀도 및 결정성 구현 가능
4) Graphite Heating 소재의 발열체를 사용하여 고온에서 안정적인 열처리가 가능함
O 초고온 진공 소성로
- Model: SSF-400600
- 최고온도: Max 2,400℃
- 사용온도: 1,900~2,300℃(Graphite 등방성, 판형 Heater)
- Hot Zone: 2 zone (전반부/후반부)
- 내부규격: W400 × D600 ×H600mm
- Vacuum Pumping System
Vacuum: Max 5×10⁻³torr
Oil Rotary Pump: 7.3 ×10⁻³torr
Boozter Pump: 1×10⁻³torr
- 온도편차: ± 5℃
- 사용가스: N₂
- Control mode: PLC, Touch Screen monitor
- 냉각장치: Water Cooling