1) X선 빔의 최소 크기 : ≦5 μm
2) X선 빔의 최대 파워 : 100 W 이상
3) 최대 측정 범위 : 1400 μm × 1400 μm
4) 측정 감도 : 100 μm 기준 1.0 eV에서 6 Mcps 이상, 10 μm 기준 1.0 eV에서 100 Kcps 이상
5) 측정 시 X선 유도 2차 전자 이미지 스캔이 가능 (≦10 μm)
6) 렌즈 : 고각 수용 렌즈, 128 채널 MCD 감지기
7) 메인 챔버 진공 펌프 : 터보 펌프 430l/s 이상
8) 샘플 홀더 이동 자동 시스템
9) 샘플 스테이지 5축 방향으로 자동 제어 가능 (X, Y, Z, T, R)
10) 깊이에 따른 XPS 분석 : Ar ion gun, 빔 voltage (0.2 ~ 5 kV)
11) 극자외선 광전자분광분석 시스템
12) 저에너지 전자빔을 이용한 역광전자 분광분석이 가능 ( <5 eV)
13) 샘플 홀더의 크기 :　80ｍm　×　80ｍm　
14) 샘플 로딩 시 진공상태로 유지하는 것이 가능