Jeol

없음

- 전자현미경과 같이 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 도달하여 발생되는 여러 전자 정보 중 이차전자 및 반사전자를 검출하여 미소영역에 대한 상(최대배율 30만 배) 관찰기능

- 원소분석을 위해 Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS), Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer(WDS)를 장착하여 시료표면에서 발생한 미약한 X-선을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석

- WDS를 Max. 5 channel과 Soft X-ray(경원소 분석)를 장착하여 분석 정확도도 높고 분석 소요시간을 단축하여 한층 더 정확한 성분분석을 할 수 있는 장비

- 금속, 재료뿐만 아니라 지질, 반도체, 세라믹등 다양한 분야에서 Image를 관찰하고 성분분석을 진행하여 연구용으로 필수적인 장비로도 널리 사용 가능

표준시료를 이용한 시료 내 화학 조성의 정량 분석
이차전지 전극의 미소원소의 정량 및 정성 분석
Soft X-ray 디텍터를 활용한 (음극) 전극 내 리튬 분포 분석
대기비개방 unit을 활용한 대기노출에 민감한 시료의 분석