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장비정보

제작사
Kp Technology
모델 명
SKP5050

내용연수
10년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 달리 분류되지 않는 표면특성측정장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-09-24

취득금액
97,020,000원
인증정보
없음
기능
1. 반도체나 절연체 표면의 표면 전위(Surface Potential, SP)나 전도성 물질의 일 함수(Work Function, WF) 측정
2. 반도체 표면 유기물(polymer), 무기물(Si, Ge, Cds 등)의 페르미 준위 측정
3. Kelvin Probe를 이용한 시간 및 위치에 따른 일함수 변화
4. 촉매 물질의 활성에 대한 표면 처리 특성
5. 산화물 층, 흡착물, 표면 오염물을 포함한 표면 상태 측정
6. 재료의 일함수 측정으로 부식 가능성 상관관계
장비 상세설명
모든 원소는 에너지(빛 또는 열)을 받으면 원자 외곽의 자유 전자가 떨어져 나오는 열전자(광전자) 방출현상이 생기는데, 이때 전자가 떨어져 나오기 위한 에너지 준위를 일함수(Work funtion)라 함. 일함수 측정하는 방법은 photo emission을 이용한 XPS Spectra 등도 있으나 정전기나 전류 특성을 이용하는 Kelvin Probe 방법은 민감한 표면 상태 변화를 측정할 수 있는 정확하고 신뢰성 있는 값의 산출 가능.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 60,000원

장비설명

정전기나 전류 특성을 이용하는 Kelvin Probe 방식의 일함수 측정기로 민감한 표면 상태 변화를 측정할 수 있는 정확하고 신뢰성 있는 값의 산출이 가능함. 반도체나 절연체 표면의 표면 전위(Surface Potential, SP)나 전도성 물질의 일 함수(Work Function, WF) 측정, 반도체 표면 유기물(polymer), 무기물(Si, Ge, Cds 등)의 페르미 준위 측정 가능함. 또한 Kelvin Probe를 이용한 시간 및 위치에 따른 일함수 변화와 촉매 물질의 활성에 대한 표면 처리 특성 분석이 가능함.

장비 구성 및 성능

Tip Diameter : 2 mm and 50 um

o Work Function resolution : (1-3) meV(2 mm), (5-8) meV (50 um)

o Measurement Frequency : (0.1 – 10) Hz

o Manual Height Control : 25 mm high-resolution translator

o Test Sample : Aluminium/Gold

o Digital Control of : Tip Amplitude, Frequency, Mean Spacing, Tip Potential

o Visualisation : Wort Function/Surface Potential versus time, 3D Work function area scan, 3D Sample Topography scan, Repetitive 3D Work Function Scan

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