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장비정보

제작사
(주)디씨엔
모델 명
TSDC210

내용연수
10년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
취득일
2024-09-12

취득금액
141,167,900원
인증정보
없음
기능
1) 사이즈 200*200mm 이상으로 코팅가능 할 것
2) 코팅 Uniformity 5% 이하 수준으로 코팅 가능 할 것
3) Vacuum Plate 210*297mm 평탄도 <10um
4) UV 경화 및 열경화 System 확보
5) UV 경화구역의 Lamp. 교체 Type 구성
6) Hot Plate Stage 0~130 ℃
장비 상세설명
Slot Die Module, Stage(X-axis), Slot Head(Z-axis), Vacuum Plate(Substrate), Pump,
구동 S/W 및 Control Panel 그리고 부대장치로 Hot Plate Stage & UV Unit로 구성된 코팅기로써,
A4 Size 코팅영역으로 코팅이 가능한 장비이며, Lip 폭(Width)과 Shim 두께 조절 등을 통해
고점도(수만 cps)에서 저점도(수 cps)의 범위 및 코팅 폭 20cm에서 소형(수 cm)까지 그리고 건조 후 nm 단위의
초박막과 수백 um까지 후막까지 코팅 두께 구현이 가능하여 다양한 차세대 디스플레이 부품 및 구성품의
제품제작 및 시험을 통해 차세대 디스플레이 기술개발 및 기업지원을 위한 장비임.
또한, Hot Plate와 UV 유닛을 설치하여 다양한 재료의 건조 조건을 갖는 코팅액과 기재(Substrate)에 적용 가능하며
범용성, 경제성, 조작 편리성 등 장점과 단시간에 반복 실험과 재현성있는 실험이 가능하여 장비 활용도가 높음

이용안내

사용형태
기관의뢰 직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 51,000원

장비설명

1) Slot Die의 다양하고 넓은 범위의 활용성 확보
- Slot Die Coating : Shim Plate 변경으로 코팅 폭 210mm 까지 코팅 가능함
- 코팅 두께는 실린지 펌프 사용 시 수cps 에서 수천 cps까지 점도 범위에서 코팅이 가능하며 고압용 펌프와 용기 적용 시 수만 cps 점도의 용액까지 사용 가능함
- 건조 후 코팅 두께는 저점도에서 수백 nm의 초박막부터 수백 um의 후막까지 코팅 가능

2) Slot Die Nozzle은 저점도 및 고점도 용액의 코팅이 가능한 구조

3) 진공 Plate 및 X-축 Stage는 기판을 고정할 수 있는 일정 간격으로 진공 홀을 갖는 Plate로 고정밀 LM Servo Stage 위에 설치되는 구조이며, X-축 속도는 1~200mm/sec 의 속도 제어가능함

4) Slot Head Module은 슬롯다이 노즐 장탈착이 용이한 구조로 되어있으며, Z-축 Stage는 Servo Motor 양축(Both-axis) 높이 제어 됨. 변위센서에 의한 자동 Gap 조절 및 Resolution 1um이며, 변위센서와 위치 제어 기능을 통한 자동 영점 조정 기능
5) 복합 건조 유닛은 Hot Plate Stage 및 UV Lamp 모듈 채택되어있으며, 코팅 후 건조가 가능한 별도의 건조 Stage 설치 및 UV는 Lamp 타입으로 넓은 범위의 파장을 커버할 수 있고 교체가 가능한 구조이고, Hot Plate 온도 범위는 Max. 130℃ 로 온도 설정이 가능하고 실시간 Display 되어야 함.

6) 코팅 기판의 자동 이송기능이 적용되어있으며, 코팅면 정밀도의 악영향을 최소화를 위해 직교 로봇 시스템에 의한 건조 존 이송되며, 직교 로봇과 연동하여 건조 Stage의 자동 스윙 기능 적용으로 일정한 건조 시간과 범위 확보

장비 구성 및 성능

○ 주요 성능
- Vacuum Plate 평탄도 : 210*297 mm <10um
- Coating Area : 200*200 mm
- Coating Uniformity(균일도) : 9Point 5% 이내
- 슬롯다이 모듈
ㆍ Lip Straightness(직진도) : < 5um
ㆍ Inside Flatness(내부 평탄도) : < 5um
ㆍ Inside Roughness(거칠기) : Ra. 0.1um
- Stage (X-axis)
ㆍ Linear Servo Motor : Speed 0.01~200mm/s
ㆍ Feedback Control by Linear Scale : Resolution 1um
ㆍ 반복정밀도 :3um
- Slot Head(Z-axis)
ㆍ Precision Motor Stage : Both axis, Stroke : Max. 20mm
ㆍ Gap Control : Max. 3000um, Resolution 1um
ㆍ Slot Gap Sensor : Displacement Sensor, Left-Right, 2pcs
- Vacuum Plate
ㆍ Size : 210*297 mm
ㆍ Flateness : < 10um
ㆍ Hole Size : Φ0.5
ㆍ Vacuum : Max. -70MPa
○ Solution Pump : Syringe type, 0.5~20ml/min, Capacity : Max. 60ml
ㆍ코팅재료의 점도범위 : 1~4,000cps
○ Main Contol : PLC Bosch Rextroth 또는 동등 이상
○ 기타 구성품
- Hot Plate Stage : 0 ~200℃
- UV Unit : Metal, 수은 Lamp, 교체 type

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