○ 질소발생기의 질소생산량과 필요소요량
1) QD-OLED 잉크젯프린터 : 초기가동시 250 Liter/min으로 한두 시간 후 안정화 되면 질소소모량 20 Liter/min로 유지가 됨.
2)스핀코터 & 베이크시스템, 마스크 얼라이너 및 노광장비, 웻스테이션의 장비도
각각 250 Liter/min의 초기가동시 질소를 소모하고 안정화 후 각각 질소소모량 20 Liter/min로 유지되며 질소발생기의 총 질소발생 유량은 30 N㎥/hr으로 장비를
동시에 초기 가동 시 한 대 이상 가동하기 어려움(장비 한 대를 초기 가동 시
질소소모량 15 N㎥/hr 소모)
3) 장비 4대를 각각 초기가동하고 안정화 후 질소소모량이 4대 × 20 Liter/min=80 Liter/min 으로 단위를 환산하면 4.8 N㎥/hr 질소소모량이 유지가 됨.
4) 용량을 초기가동용량을 고려하여 30 N㎥/hr로 설정한 것은 장비 한 대 초기가동 질소소모량이 장비당 15 N㎥/hr이고 이 소모량의 두 배 용량으로 질소발생기의 용량을 정한 것은 두 배 용량에서 질소순도유지가(99.99%) 됨이기 때문임.
(질소발생기 용량을 15 N㎥/hr로 하면 99%로 질소순도가 떨어짐.)