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장비정보

제작사
Keithley
모델 명
4200A-SCS-PKB

내용연수
10년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-08-06

취득금액
213,864,640원
인증정보
없음
기능
- 전력반도체 소자에 대해 I-V 및 Pulsed I-V 커브, C-V 커브 등의 전기적 특성 측정 및 평가
- 프로브 스테이션과 연계하여 정밀한 측정 가능
장비 상세설명
○ 소자 분석기 용도 : MOSFET, BJT, IGBT 등 전력반도체 소자에 대해 I-V, C-V 커브 등의 전기적 특성 평가가 가능하며, 프로브 스테이션과 연계하여 소형 소자에 대해 정확한 포인트를 접촉시켜 낮은 누설전류로 정밀한 측정값 획득 가능함.
○ 소자 분석기 성능 : 측정 가능한 범위의 경우 전압은 ±200mV ~ ±200V까지의 넓은 범위에 대해 측정이 가능하고, 0.2µV (@ 200mV)급의 분해능과 0.012%의 정밀도의 특성임. 전류는 SMU 모듈의 측정 범위를 증폭시켜주는 장치인 프리앰프를 탑재하여 기존 커브트레이서 대비 정밀한 ±1pA ~ ±100mA까지의 범위에 대해 측정이 가능하고, 10aA (@ 1pA)급의 분해능과 10fA급의 정확도를 바탕으로 정밀한 저전류 소자에 대한 신뢰성 있는 결과 획득이 가능함. 또한, Pulsed I-V 측정 기능을 탑재하여 ±40V 범위 (80Vp-p)에 대하여 5ns 샘플링 레이트로 측정이 가능하고, C-V 측정 기능을 탑재하여 1kHz ~ 10MHz의 AC 범위 혹은 ±30V DC bias에 대해 다양한 분석이 가능함.
○ 프로브 스테이션 성능 : 80배 현미경을 탑재하여 육안으로 식별이 어려운 소형 소자에 대해서도 정확한 접촉 포인트 식별이 가능하도록 하며, 0.5µm의 프로브 팁과 2µm급 분해능의 마이크로 포지셔너 탑재로 정밀한 조작이 가능함.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 20,000원

장비설명

본 장비는 전력변환부품 및 응용모듈에 대하여 극한 환경시험 시행 전후로 내부 소자 및 부품의 물리적 결함 여부와 이에 의해 발생되는 전기적 결함 평가를 위한 장비임. 프로브 스테이션과 연계하여 비교적 사이즈가 작고 정밀한 소자에 대한 측정 테스트가 용이함.

장비 구성 및 성능

○ 소자 분석기 주요사양
- 전압 공급
⦁ 범위 : ±200mV/ ±2V/ ±20V/ ±200V
⦁ 분해능 : 5µV at 200mV range
⦁ 정밀도 : 0.02%
- 전압 측정
⦁ 범위 : ±200mV/ ±2V/ ±20V/ ±200V
⦁ 분해능 : 0.2µV at 200mV range
⦁ 정밀도 : 0.012%
⦁ 안정화 시간 : less then 100μs to 0.1%
⦁ 입력 임피던스 : > 10 Gohm
- 전류 공급
⦁ 범위 : ±1pA ~ ±100mA
⦁ 분해능 : 50pA at 1µA range
- 전류 측정
⦁ 범위 : ±1pA ~ ±100mA
⦁ 분해능 : 10aA at 1pA range
- 프리앰프
⦁ SMU 모듈의 측정 범위를 증폭시켜주는 장치
⦁ 전류 측정 범위 : ± 1pA ~ ± 10nA
⦁ 최대 전류 측정 분해능 : ± 10aA
⦁ 최대 전류 측정 정확도 : ± 10fA
- Pulsed I-V 측정
⦁ 범위 : ±40V range (80Vp-p)
⦁ 분해능 : 5ns sampling rate
- C-V 측정 지원
⦁ 범위 : 1kHz ~ 10MHz, ±30V DC bias

○ 프로브 스테이션 주요사양
- 5 inch Coaxial Vacuum Chuck
⦁ Coaxial Vacuum Chuck (Al, Sending Anoding Coating )
⦁ From 3 to 6 inch
- Microscope – OLYMPUS – 80x
⦁ Eyepiece : 20x
⦁ Object Lens : 1 ~ 4x
- Micro Positioner body - PB50
⦁ LM cross roller type
⦁ Resolution : 2µm
⦁ Travel : 6mm
- Probe Holder - Cal type or C_type
- Probe Tip - MST_T_0.5µm 10 ea

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