가스 종류에 따라 별도 교정이 필요하나 질소(N2), 대기, 아르곤(Ar), 일산화탄소(CO), 등의 가스 교정을 지원

1) 유량 측정 사양
- 범위: <1sccm ~ >5000slm
- 분해능: 0.0015 % FS
- 정밀도: ±0.07% of reading, ±0.007% FS under 10% FS
- 안정도(1년): ±0.09% of reading, ±0.009% FS under 10% FS
- 측정 불확도: ±0.2% of reading, ±0.009% FS under 10% FS

2) 압력 측정 사양
- 측정 범위: 0~600kPa(0~87psia)
- 측정 불확도(절대압): ± (0.01 % of reading or 0.003 % Q-RPT span, whichever is greater)
- 측정 불확도(차압): ± (8.4 Pa (0.0012 psi) or 0.032 % ΔP, whichever is greater)

3) 온도 측정 사양
- 측정 범위: 0~40 °C
- 분해능: 0.01 °C
- 기준저항: 100 and 110 Ω ± 0.01 %, stability < 25 ppm/year
- 저항측정: ± 0.02 % of reading (15 °C to 30 °C)