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장비정보

제작사
Thermo Fisher Scientific
모델 명
Orion3

내용연수
10년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 절연/누설/정전기측정시험장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-06-04

취득금액
287,104,600원
인증정보
JS-002
기능
파워 반도체 소자의 정전기(CDM 이벤트)에 대한 내성 및 전기적 특성을 평가하는 시험 장비로 소프트웨어와 연동하여 시험 결과 값을 모니터링 또는 추출 하는 장비임
장비 상세설명
CDM (Charged Device Model) 방전 시험기는 관련 국제 규격(JS-002, AEC Q100)에 의거 ESD 평가 모델 중 하나인 CDM 현상에 대한 반도체 IC 제품들의 내성을 평가, 검증하기 위한 시험 장비임

이용안내

사용형태
기관의뢰 직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 40,000원

장비설명

Orion3 는 반도체 IC 에 대한 정전기 내성 평가를 위한 시험 장비로 정전기 시험 모델인 HBM, MM, CDM 중 CDM 에 대한 시험을 위한 장비로, 이 CDM(Charged Device Model) 시험기는 관련 국제 규격에 의거 반도체 IC 에 정전기 시험을 진행하여 반도체 소자의 CDM 현상에 대한 제품의 내성을 평가, 검증하기 위한 시험 장비이다.
- 관련 국제 규격: JS-002, AEC-Q100 외

장비 구성 및 성능

1) Orion3 장비 구성
-. Main System: Test Head, Control Box, 구동축 (X,Y, Z축)
-. 소프트웨어: Orion3 Scimitar(장비 운영), Evaluwave (파형 분석)
-. 구동 컴퓨터 & 모니터

2) 장비 성능
Device 충전 방식 : Field Induced Charge (필드 충전)
- 시험 전압 레벨 : ±25 V to ±2000 V (±1V steps)
- Test Area 10.16 cm x 10.16 cm (4 in x 4 in)
- Motion System
x, y axis : min step size 0.001 in with 0.00025-in accuracy
(min step size 25.4 μm with 6-μm accuracy)
z axis : Vertical travel to 1.5 in with 0.00025-in accuracy
(vertical travel to 38.1 mm with 6-μm accuracy)
- High resolution Camera: Ethernet High resolution Camera (1.0 Gbps or higher)
- 습도 제어(소프트웨어) 및 모니터링, 온도 모니터링 기능 내장.
- DUT Chuck Vacuum (internal) 11.8” Hg 내장
: +15°C to +30°C (+59°F to +86°F)
- Humidity Range 30-60% non-condensing
(recommended test chamber range is less than 20%)
- Dimensions 56 cm (22 in) W x 89 cm (35 in) D x 104 cm (41 in) H

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