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장비정보

제작사
fischione
모델 명
M1061 SEM-Mill

내용연수
5년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
화합물 전처리·분석장비 > 반응/혼합/분쇄장비 > 달리 분류되지 않는 반응/혼합/분쇄장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-10-02

취득금액
282,493,000원
인증정보
없음
기능
전극의 구조 분석을 위해 단면 절삭을 균일하게 하는 밀링기이며, 본 장비를 이용해 시편 전처리를 통해 정확한 분석이 가능
장비 상세설명
전자현미경 분석을 위한 시료 표면에 형성된 유기막 제거, 기계적으로 연마한 표면/단면을 미세 정밀 밀링하여 물리적으로 손상된(기계적 연마 로 생김) 관찰이 어려운 경계면의 거동을 관찰하거나 이물 및 불량분석을 보다 손쉽게 하는 용도

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 25,000원

장비설명

- Ar ion beam을 이용하여 시료의 단면을 가공하는 장비로, 가속전압에 의해 가속된 Ar ion이 시료 표면에 충돌하여 표면의 구성원자를 튕겨내며 점차 깎이게 되는 과정이 지속되어 전극의 단면을 얻어 낼 수 있음.
- 전극의 단면 분석을 통하여 활물질/고체전해질의 계면 관찰, 입자간의 뭉침현상 관찰, 충/방전 과정 후 전극의 열화 관찰등이 가능

장비 구성 및 성능

1) 이온건
- 연속변환 가능 범위 : 100eV to 10.0keV
- 이온빔 전류량 : 10mA/cm2
- 이온빔 직경 : 350μm 이상 5 mm 이하
- 균일 밀링결과 제공 영역 : 직경 5mm 이상
2) Specimen stage
- 밀링각도 : 0° to +10° - 시편 회전 : 360° - 시료 밀링 max. D32mm H25mm
3) Vacuum system
- 다이어프램 펌프
- 진공도 측정용 피라니 게이지
4) Process gas
Ar gas 99.999%, MFC 내장
5) User interface :10 inch touchscreen 이상
6) Sample illumination : 밀링중 시료 관찰 가능
7) Automatic termination 기능
8) Stack light kit

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