1) 파워제네레이터 (플라즈마 전원장치)
* 주요 사양
- 전원장치 제조사 : Huttinger (Germany)
- Plasma 출력 : Max. 100 kW
- Rigid Cable 제조사 : SWR (USA)
- 전원장치 Dimension
: RF Generator : 2,000 x 2,000 x 800
: Tank circuit (Oscillator) : 600 x 530 x 700
- 운전 주파수 : 1~4MHz
- 냉각방식 : 수냉
- IP 등급 : IP 54
2) 기상합성 전극 (RF 플라즈마 전극)
* 주요 사양 및 특징
- 플라즈마 최대 출력 : 100kW
- 플라즈마 가스 : 아르곤
- 플라즈마 발생부의 직경 : Ø50
- Induction Coil의 회선 수 : 5회선
- 주요 적용 소재
Electrode Body : Sus 304
Ceramic Tube : Al2O3, Quartz
Confined Tube : Si3N4 (질화규소)
Induction Coil : Copper
Coil Jig : PTFE
- Coil Jig 적용 : 유도코일의 정확한 간격 유지 및 교체 용이
3) 기상합성 응축 반응기 (플라즈마 반응기)
* 주요 사양 및 특징
- 구성 : Hot Zone / Quenching Zone / Bottom Reactor
- Double Wall Jacket for Water Cooling
- Cooling Gas : Multiple Stages (4 Stages)
- 반응기 Dimension : 직경 8“ x 800mm 이상
- 주요 적용 소재
Reactor Body : Sus 304
Insulator & Cooling Gas Nozzle : Graphite
4) 가스 정량 공급 장치
* 주요 사양
- 제조사 : Bronkhost(Netherlands)
- Type : MFC(Mass Flow Controller)
- Model : EL- Flow Series
- Accuracy : ± 0.1% (at. Full Scale)