1) 표면거칠기측정기
(1) 측정 범위 - 300 X 150 X 70 mm
(2) 관찰 배율 - 20 ~160 배
(3) 높이 측정 범위 - 최대 50 mm 편차
(4) 높이 표시 분해능 - 0.1 ㎛
(5) 높이 측정 반복 정도 - 편차 0.4 ㎛
(6) 폭 측정 반복 정도 - 편차 0.5 ㎛
(7) 작동 거리 - 75 mm
(8) 렌즈
– 투광렌즈 : 더블 텔레센트릭 렌즈 × 좌우 2개
- 수광렌즈 : 더블 텔레센트릭 렌즈
(9) 조명
- 관찰용 : LED 링조명 (적색, 녹색, 청색)
- 측정용 : 백색 LED
(10) 스테이지 - 278(X) X 134(Y) X 69(Z) mm
(11) 공급 전원 – 전원 전압 100 ~ 240 VAC 50/60 Hz, 소비전력 200 VA
(12) 구동용 PC set - OS : Windows 10 Pro 64 bit
(13) AC 전원 공급 장치 케이블
(14) 촬상소자 : 400만 화소 흑백 CMOS
(15) 내환경성 : 사용주위온도 : 15 ~ 30℃, 사용주위습도 20 ~ 80％
(16) 질량 : 컨트롤러 4.0 kg, 측정 헤드 28.0 kg
2) 소프트웨어
(1) 컬러 촬영 기능
- 400만 화소 C-MOS 카메라를 활용한 컬러 촬영 및 3D 형상데이터의 텍스처로서 RGB 데이터를 자동 취득 가능
(2) 전자동(XY 자동제어+오토포커스)측정이 가능.
※ 광범위 300 mm×150mm의 넓은 범위를 측정 가능
※ 등 간격 측정 가능.
(3) 화상처리 기능 : 선명한 화상데이터로 만드는 화상처리 기능(엣지 추출 오프셋 조정 감마보정)보유.