IVT

없음

ㅇ 디스플레이 원료 및 양자점소재 생산공정 무기막 아웃가스 분석
ㅇ 디스플레이 소재/소자 산화물 절연막 증착 공정시 발생하는 가스분자 규명 및 분석
ㅇ 탈착된 가스분자의 흡수/결합을 분석하여 원료품질 향상 연구
ㅇ 초고진공에서 온도조절 중 탈착된 분자를 실시간 분광계로 관찰
ㅇ 물, 수소, 산소, 이산화탄소 미량 검출/분석가능
ㅇ 탈착된 분자의 화학종 정량화
ㅇ 기체방출시스템은 초미량의 Gas 성분을 분석하는 장비로서, 고진공 상태에서 Color filter나 시편을 IR로 가열하여 그 과정 중에서 발생하는 극 미량의 Gas를 분석하는 장비임.

○ TDS(thermal desorption spectroscopy) 온도변화에 따라 시편에서 방출되는 수소기체방출 정량측정 장비임.
○ 청청한 환경에서의 개발/생산이 매우 중요한 반도체, 디스플레이 등 공정에서 진공은 필수임.
○ 진공공정 중의 기체부하 및 기체방출은 필연적으로 발생됨
○ 기체부하 및 기체방출은 전기전자, 나노기술, 반도체/디스플레이 등 첨단산업 공정 발생물의 불량률 및 심각한 공정에러를 유발함
○ 1. 초기상태기체, 2. 공정기체, 3. 미세누출, 4. 기체역류, 5. 기체방출이 있음
○ 시료 표면에 흡착되있던 기체들이 탈리하면서 질량분석기를 통하여 이온화된 잘량을 분석하여 표면상태를 매우 효과적이고 광범위하게 분석
○ 이온분자탈리율, 분자원자종류, 흡착에너지 정량 분석가능
○ 디스플레이공정간 대표기체방출오염원은 H2O, H2, CO2, O2 등이 있으며, 이물질은 공정진공도 저하/시료오염/방전을 유발함