대동하이텍

없음

- 진공상태에서 소스를 전기적으로 가열하여 소스 내 물질을 승화시켜 상부에 있는 기판에 박막을 형성



- 페로브스카이트 증착시 페로브스카이트 소재에 의한 챔버 및 펌프 손상을 대비하기 위한 쉴드 및 기술 적용

- 승화 가능 소스 : 7개



- 동시 승화 가능 소스 : 4개



- 글러브 박스 가용 인원 : 1.5명



- 최대 진공도 : 1.0x10-7 Torr



- 챔버 진공처리 속도 : 30분 이내에 5.0x10-7 Torr 이하



- 페로브스카이트를 활용한 발광다이오드



- 페로브스카이트를 활용한 태양전지



- 페로브스카이트를 활용한 광전자소자



- 무기물을 활용한 발광다이오드



- 유기물을 활용한 발광다이오드



- 유무기 소재를 활요한 광전자소자