사중극자 질량분석기(QMS)는 이온화 소스, 사중극자 필터, 그리고 검출기로 구성된 고성능 분석 장비다. 이 장비는 샘플을 이온화한 후, 특정 질량 대 전하비(m/z)를 가진 이온만을 선택적으로 통과시키고, 검출기가 이를 신호로 변환하여 데이터를 분석합니다. 변환된 데이터는 RGA 프로그램을 통해 컴퓨터에서 실시간으로 확인할 수 있다.

특히, SRS RGA(잔류가스 분석기, Residual Gas Analyzer)는 사중극자 프로브와 전자제어 장치(ECU)로 구성된 질량 분석기로, ECU는 프로브의 플랜지에 직접 장착되어 장비 작동에 필요한 모든 전자 회로를 포함하고 있다. 프로브는 정밀하게 설계된 사중극자 질량 분석 센서로, 주로 304 스테인리스강과 고순도 알루미나로 제작되었다. 이 장비는 잔류 가스를 분석할 때, 일부 기체 분자를 이온화하여 생성된 양이온을 질량에 따라 분리하고, 각 질량에서의 이온 전류를 측정하는 방식으로 작동한다.

프로브는 이온화 소스, 사중극자 필터, 이온 검출기의 세 가지 주요 구성 요소로 이루어져 있으며, 이 모든 요소는 고진공(10⁻⁴ Torr 이하) 환경에서 작동해야 한다. 프로브 어셈블리는 스테인리스강 튜브(RGA 커버 니플)로 보호되며, 이온화 소스만 외부에 노출된다.

QMS는 높은 질량 해상도와 감도를 자랑하며, 1~200 amu(원자 질량 단위) 범위의 다양한 화학종을 정밀하게 분석할 수 있다.