1. 헬륨 질량 누설 감지 시스템
- Leak Detection Pump : Pumping speed Pumping speed : DC, 324m³/h
- Helium Detection Pressure : 0~4.0MPa
- Detection Accuracy : <1.0x10^-6 Pa ㎥/s
- 감지가능 최소 누설률 : Vacuum made 5x10^-13Pa ㎥/s
- 감지가능 최소 누설률 : Sniffer made 5x10^-9 Pa㎥/s
- 누설률 표시 범위 : 1 x10^-1 ~ 1 x10^-13 Pa ㎥/s
- Air Intake Pressure : 대량 1500Pa / 중간 200Pa / 미세 40Pa
- Startup Time : 110sec 이상
- Feedback Time : <0.5s
- Roughing Pump : 16m^3 /h
- Leak detection Start Pressure : 진공챔버 내 ≤20Pa

2. 진공 챔버 시스템
- 진공 챔버 : Stainless, 28L
- 진공챔버 개폐 장치 : AIr Cylinder
- Part Vacuum Pressure : ≤ 1000Pa

3. 누설 감지 회수 장치
- 헬륨 회수율 : 98%
- Low Pressure Tank : 400L
- High Pressure Tank : 150L

4. 전기 제어 부분
- Control PLC 및 touch Display : 유(Data 저장용 PC 별도)

5. 안전장치
- 안전펜스
- 이상압력 감지/경보