파크시스템스 주식회사
XE-150
9년
부대장비(부가장치) (주장비:원자현미경)
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2024-06-14
136,940,760원
없음
시료의 표면을 수 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석
전기적, 자기적, 기계적 특성 분석 가능
시료의 표면을 수 nm 단위 이하로 3차원적 형상을 분석하는 장비로, 캔틸레버 끝단에 위치한 탐침을 시료 표면에 근접시킨 후 시료와 탐침의 상호작용을 이용하여 물리적인 스캔을 통해 표면 분석하는 장비
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 50,000원
시료의 표면을 수 nm 단위 이하로 3차원적 형상을 분석하는 장비로, 캔틸레버 끝단에 위치한 탐침을 시료 표면에 근접시킨 후 시료와 탐침의 상호작용을 이용하여 물리적인 스캔을 통해 표면 분석하는 장비
1. 스테이지
- XY 스테이지 : 20mm x 20mm
- Z 스테이지 : 25mm
- F 스테이지 : 15mm
2. 스캐너
- XY 스캔 해상도 : 0.05nm 이하
- Z 스캔 해상도 : 0.015nm
- Z 스캐너 스캔 범위(Std/Long) : 15um/30um
- Z 스캐너 노이즈 : 1kHz에서 0.01nm
3. VISION
- 대물렌즈 : 10x:N.A. 0.23
- 해상도 : 1um
- 반복성 : 2um
4. 컨트롤러
- PLL(위상고정루프) : 내장
- Digital Q control : 내장
5. 측정모드
- Contact
- Non-contact
- SCM
- MFM
- EFM
- SSRM