Zygo Corporation
NEWVIEW 9000
10년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2024-06-28
314,994,230원
없음
○ 미세표면형상 및 조도측정기 주요사양
◦ Main system
- Core Technology : CSI (Coherence Scanning Interferometry)
- Camera Type : Color 1.9Mp 이상
- 별도의 방진 테이블 없이 미세표면 및 조도 측정 가능한 백색광 간섭계
- Vert. Scan Speed : 50 ~ 171 ㎛/s
- Max. scan range : 20 mm 이하
- Motorized XY stage range : 150 mm, Tilt : 3 deg
- Motorized Z axis range : 100 mm, 분해능 0.1 um
- Measurement Area(Based on 10X objective) : 0.8 × 0.8 mm
- Step Height Repeatability : ≤0.3%
- 표면형상 반복정확도 : 0.008 nm
◦ Joystick(Motion controller) : possible to move the X, Y, Z axis by joystick
○ 비접촉 3차원 표면형상 측정 장비이며, 간섭원리를 이용하여 미세표면 형상 및 조도를 측정하는데 주로 사용
- SureScan 기술을 이용하여 진동이 있는 환경에서도 높은 측정 정밀도를 가지며 정밀 기계 부품 및 반도체 디스플레이 소자의 거칠기 및 표면형상을 측정하는데 적합
- Interferometer 방식으로 Autofocus, Field Stitching 기능이 구현 가능한 표면형상 및 표면조도 측정 자동화 시스템
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 88,000원
○ 비접촉 3차원 표면형상 측정 장비이며, 간섭원리를 이용하여 미세표면 형상 및 조도를 측정하는데 주로 사용
- SureScan 기술을 이용하여 진동이 있는 환경에서도 높은 측정 정밀도를 가지며 정밀 기계 부품 및 반도체 디스플레이 소자의 거칠기 및 표면형상을 측정하는데 적합
- Interferometer 방식으로 Autofocus, Field Stitching 기능이 구현 가능한 표면형상 및 표면조도 측정 자동화 시스템
○ 미세표면형상 및 조도측정기 주요사양
◦ Main system
- Core Technology : CSI (Coherence Scanning Interferometry)
- Camera Type : Color 1.9Mp 이상
- 별도의 방진 테이블 없이 미세표면 및 조도 측정 가능한 백색광 간섭계
- Vert. Scan Speed : 50 ~ 171 ㎛/s
- Max. scan range : 20 mm 이하
- Motorized XY stage range : 150 mm, Tilt : 3 deg
- Motorized Z axis range : 100 mm, 분해능 0.1 um
- Measurement Area(Based on 10X objective) : 0.8 × 0.8 mm
- Step Height Repeatability : ≤0.3%
- 표면형상 반복정확도 : 0.008 nm
◦ Joystick(Motion controller) : possible to move the X, Y, Z axis by joystick