MPI

없음

- 반도체 웨이퍼 및 칩 상태의 전기적 특성(전압, 전류 등)을 측정하기 위해 활용 가능
- 누설 전류를 10 fA 이하로 최소화할 수 있는 환경을 가짐
- 반도체 센서, 소자 및 회로의 동작 전압, 출력전류, 누설 전류, 항복전압, 잡음특성 등 다양한 성능 파라미터 측정 가능

프로브 카드(Probe Card)나 프로브 헤드(Probe Head) 등을 이용하여 피 측정체의 신호 연결 라인을 연결하며 초 미세 회로선 폭에 적용하기 위해 필요한 장비로, 측정 채널의 수, 빠른 테스트 타임, 육안으로 구분하기 어려운 테스트 포인트들을 포지셔너(Positioner), 디지털현미경 등을 장착, 쉽고 빠르게 측정하도록 여러 기능을 갖추고 있으며, 오픈형 스테이션에서 완전차폐시스템으로의 업그레이드가 가능. 또한 30 dB (1 kHz - 1 MHz) 이상의 EMI 쉴딩과 5 mVp-p 이하인 AC 잡음 특성을 가지고 있어 아주 우수한 차폐환경의 챔버를 제공하고 누설 전류가 10 fA 이하로 유지되어 나노스케일 소자의 측정분석에 적합.