코리아바큠테크㈜
KVE-T4000
12년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
2024-06-20
148,124,920원
없음
⦁각종금속과 무기물질에 저항열원으로 원하는 박막을 기판위에 증착시키는 장비로서 금속 및 무기물질을 단층 및 다층증착이 가능 함.
- 반도체 소자 및 IC 제작에 필수적인 금속 증착 장비
- 반도체 핵심인력 양성을 위한 교육 및 연구에 활용
⦁Turbo pump: pumping speed 2400 L/s
⦁8 inch cooling assembly
⦁Chuck heating/cooling element: < 250oC
⦁Thermal source & power supply: 3 source, 3 kW (shutter 3ea)
⦁High vaccum < 5E-7 Torr
⦁Deposition uniformity < +-5%
직접사용
고정형
시간별
[Hr] 57,000원
⦁각종금속과 무기물질에 저항열원으로 원하는 박막을 기판위에 증착시키는 장비로서 금속 및 무기물질을 단층 및 다층증착이 가능 함.
- 반도체 소자 및 IC 제작에 필수적인 금속 증착 장비
- 반도체 핵심인력 양성을 위한 교육 및 연구에 활용
● Turbo pump: pumping speed 2400 L/s
● 8 inch cooling assembly
● Chuck heating/cooling element: < 250oC
● Thermal source & power supply: 3 source, 3 kW (shutter 3ea)
● High vaccum < 5E-7 Torr
● Deposition uniformity < +-5%