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장비정보

제작사
코리아바큠테크㈜
모델 명
KVE-E4000L

내용연수
12년
구분
주장비

용도
교육
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-06-20

취득금액
181,375,720원
인증정보
없음
기능
전자빔을 통해 금속 박막을 증착하는 장비이다.
장비 상세설명
본 장비는 터보(turbo) 펌프와 회전 (rotary) 펌프를 이용하여 2x10E-6 Torr 이하의 기본 압력 하에, 높은 에너지의 전자빔을 target에 타격하여 국소부위 증발을 일으켜 박막을 성장시키는 장비이다.

이용안내

사용형태
직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 60,000원

장비설명

∙ 증착 재현성 및 안전성 (Dual QCM sensor 적용) ∙ 로드락 챔버를 이용한 진공배기 시간 단축 / 빠른 공정 시간 확보 ∙ 챔버 및 증착 시편 오염 방지 (쉴드 카바, 소프트 벤팅, 벤트 디퓨져 설치) ∙ 다양한 종류의 금속 및 무기물질의 단층 및 다층 증착
∘ 금속 : Au, Ag, Cr, Ti, Cu, Al
∘ 무기물질 : SiO2, ZnS, TiO2, ITO

장비 구성 및 성능

● Cryo pump: pumping speed 1700 L/s
● Substrate holder: 2ea
● 8 inch cooling assembly
● Chuck heating/cooling element: < 250oC
● E-beam source & power supply: 4 pocket, 6-10kV
● Load lock
● High vaccum < 5E-7 Torr
● Deposition uniformity < +-5%

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