주사전자현미경 본체
○ 전자광학계
1) 전자총 : 고휘도 숏트키 타입
2) 분해능 : 0.9 nm at 15 keV - 1.2 nm at 1 keV
3) 배율 : 2 x ~ 2,000,000 x
4) 전자빔에너지 : 50 eV ~ 30 keV
5) 프로브전류 : 400 nA
6) 관찰가능모드
- Wide Field, Resolution, Depth, Overview
○ 진공시스템
1) 챔버진공(고진공모드) : < 9 x 10-3 Pa 이하
2) 시편교환 후 진공소요시간 : 5분 이하
3) 펌프시스템 : Scroll, Turbo, Ion getter pump
○ 시편스테이지 동작시스템
1) 유형 : 컴퓨터제어 전동스테이지
2) 동작가능범위
- X, Y축 : 130 mm
- Z축 : 100 mm
- 회전 : 360 도 연속
- 기울기 : -70 ~ +90도
에너지 분산 분광분석기 모듈(EDS) : 2 ea
○ EDS 1(정밀분석용)
1) 검출기유형 : Flat QUAD SDD detector, LN2 free
2) 검출기위치 : 전자총과 시료사이
3) 검출기원소범위 : B(5) ~ Am(95)
4) 활성검출범위 : 60mm2(15mm2x4) 또는 이상
5) 에너지분해능(Mn Ka) : 반치전폭 127eV 이하
6) 에너지분석처리량 : 1,600,000 cps 또는 이하
7) 최대입력신호량 : 4,000,000 cps 이하
○ EDS 2(일반분석용)
1) 검출기유형 : SDD detector, LN2 free
2) 검출기위치 : 전자총 옆
3) 검출기원소범위 : Be(4) ~ Cf(98)
4) 활성검출범위 : 60mm2
5) 에너지분해능(Mn Ka) : 반치전폭 129eV 이하
6) 에너지분석처리량 : 600,000 cps 또는 이하
7) 최대입력신호량 : 1,500,000 cps 이하