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장비정보

제작사
HITACHI
모델 명
Semiconductor Type BSE Detector

내용연수
10년
구분
부대장비(부가장치) (주장비:전계방사형 주사전자현미경)

용도
분석
표준 분류
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-10-28

취득금액
76,691,220원
인증정보
없음
기능
전자현미경의 Specimen stage(시료대)에 추가로 설치하여 시료에서 나오는 Back-scattered electron(후방산란전자)만 검출하여 이미지화시키기 위한 검출기임.
장비 상세설명
1. 후방산란전자에서 나오는 정보는 시료의 입체상 또는 원자번호 차이에 따른 각각의 원소별 조성상을 뚜렷하게 구분시키는 역할을 하며, 이를 이미지 정보로 데이터화 하여 분석함.
2. 후방산란전자(BSE)는 시료 표면으로 진행하는 입사전자수 대비 후방산란전자수의 비율로 나타나는 전자반사율에 따라 후방산란전자 이미지의 Contrast를 결정지음.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 75,000원

장비설명

가속 전자가 시료에 주입되었을 때 반사되는 전자(후방산란전자)를 검출하여 재료의 orientation을 분석하는 장비로 샘플 각각의 결정으로 부터 측정된 회절패턴을 이용하여 구조를 분석하는 장비임

장비 구성 및 성능

* Semiconductor Type BSE Detecting Device
- Resolution : 3nm at 15kV - Max. sample size : 100mm dia.
- Signal Selector - New SEM Communication Board - Latest PC-SEM Software for Windows 10
- Microsoft windows 10
- Intel Xeon W-1250
- 8GB DDR4

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