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장비정보

제작사
Jeol
모델 명
JSM-IT710HR/LA

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
취득일
2024-07-12

취득금액
499,016,760원
인증정보
없음
기능
- 유가금속들의 시료 표면 분석 및 불순물 분석을 통한 순도를 평가 가능하도록 설정하였음
1. 회수 금속염들의 파티클 사이즈 들은 수um~ 수십nm 사이즈로 이와 같이 작은 사이즈의 파티클들의 형상을 측정
2. 회수 금속염들의 파티클 사이즈 들은 수um~ 수십nm 사이즈로 이와 같이 작은 사이즈의 파티클들의 분포도를 % 단위로 측정
장비 상세설명
1. Schottky field emission Electron gun
2. 빌트인 Aperture angle Control LENS
3. 오토 Purge & Vent SYSTEM
4. 대용량 챔버 및 스테이지
5. 32 mm Specimen Holder
6. 원터치 Specimen 교환 시스템
7. 오토 빔 얼라이먼트 및 오토포커싱을 지원하는 시스템
8. Database for analysis software
9. Rotary Pump
10. Vibration isolation weight

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 100,000원

장비설명

해당 주사전자현미경(SEM)은 챔버 안에 측정할 물질을 신속하게 배치가 가능하며 진공상태 하에서 측정한다. 해당 장비는 주장비와 부대장비로 구성되어 있으며 제어 및 분석 PC를 통해서 장비를 제어하고 측정할 수 있다. 해당 장비는 오토 포커스 기능과 ACB를 지원하여 신속하고 정확한 측정이 가능하며 다양한 크기의 지그를 통해 다양한 샘플을 측정할 수 있어서 다양한 응용분야에 적용이 가능하다.

장비 구성 및 성능

Power : Single-phase AC100 V, 50/60 Hz, 3.0 kVA
dimensions : 2,000 mm × 2,500 mm × 2,300 mm
Environmental temperature : 20 ± 5 ℃
Resolution : 1.0nm (20kV) 3.0nm (1.0kV, HV mode), 3.0nm (15kV probe current 3nA), 1.8nm(15kV BED, LV mode)
Photo magnification : ×5 to ×600,000
Probe Current : pA to 300nA
Accelerating voltage : 0.5 kV to 30 kV

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