도시바 캐리어

없음

○ 클린룸 구성 및 공정 환경 조건의 조성
- 클린룸 및 공정장비에서 먼지, 온도, 습도, 차압 등의 요소가 제어되는 환경 조건을 구성해줘야 함
○ 구축하고자 하는 냉동기의 적용분야
- 냉동기 : 항온항습기 냉수용(클린룸), PCW(공정장비 냉각용) 등 장비의 열원을
냉각하기 위한 냉수 공급용 장비

인버터 칠러(공냉식) 장비는 테스트베드 기반구축사업을 추진함에 있어서 아산디스플레이센터에 2022~2023년에 걸쳐 도입예정인 성능 및 신뢰성 평가장비 17종과 클린룸 공간 조성 후 2024년 배치될 공정장비 6종에 필요한 냉각수를 생산하고 원활한 공급을 위한 장비임.
- 냉각수 투입장비 등의 가동 중 발열을 안전한 온도범위로 억제 및 유지하고 계속 운전할 수 있도록 하며, 항온항습시스템에 냉각수를 공급하여 쾌적한 클린룸 온습도를 유지하는 장비로 반드시 도입이 필요한 장비임