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없음

주사전자현미경(SEM)은 옹스트롬의 분해기능을 가진 전자빔(electron beam)을 source로 초고배율에서 나노미터 스케일의 영상획득이 가능한 현미경이다.
다양한 분야의 시료 관찰이 가능한 비파괴 검사 영상 현미경의 하나로, 지구상에서 가장 작은 시료의 실제 영상 획득이 가능한 나노 계측장비이다.
EDS나 BSE 같은 옵션 디텍터를 추가 장착하여 시료의 성분 분석이나 조직 분석에도 활용 가능한 장비이다

기존 현미경들이 분해능력의 한계로 인해 관찰이 불가능하던 다양한 시료들의 um~nm 스케일에서 영상 관찰이 가능하기 때문에, 다양한 첨단 산업이나 R&D 영역에서 활용되는 가장 대표적인 나노 측정 장비의 하나이다.
주사전자현미경(SEM)의 텅스텐 필라멘트에 방출된 전자빔이 진공챔버의 시료대에 위치한 샘플의 표면을 스캔하여 획득한 시료의 영상 이미지가 모니터로 전송되어 실시간으로 관찰이 가능하며, 이를 이미지 파일로 저장하여 두께나 공극, 면적 분석과 같은 2차 분석에 활용할 수 있다.