Keithley Instruments
4200A-SCS
11년
주장비
교육
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
2024-01-22
86,606,880원
없음
전압 공급(전압 범위, 해상도 및 정확도)
-. (200mV, 5𝜇V, 0.02%), (2V, 50𝜇V, 0.02%), (20V, 500𝜇V, 0.02%), (200V, 5mV, 0.02%)
전압 측정(전압 범위, 해상도 및 정확도)
-. (200mV, 0.2𝜇V, 0.012%), (2V, 2𝜇V, 0.012%), (20V, 20𝜇V, 0.01%), (200V, 200𝜇V, 0.015%)
전류 공급(전류 범위, 해상도 및 정확도)
-. (100nA, 5pA, 0.060%), (1𝜇A, 50pA, 0.060%), (1mA, 50nA, 0.040%), (100mA, 5𝜇A, 0.050%)
전류 측정(전류 범위, 해상도 및 정확도)
-. (100nA, 100fA, 0.050%), (1𝜇A, 1pA, 0.050%), (1mA, 30nA, 0.035%), (100mA, 100nA, 0.045%)
프리앰프를 사용한 정밀 전류 공급(전류 범위, 해상도 및 정확도)
-. (1pA, 1.5fA, 1.000%), (10pA, 5fA, 0.500%), (100pA, 15fA, 0.100%), (1nA, 50fA, 0.060%), (10nA, 500fA, 0.060%)
프리앰프를 사용한 정밀 전류 측정(전류 범위, 해상도 및 정확도)
-.(1pA, 10aA, 1.000%), (10pA, 100aA, 0.500%), (100pA, 300aA, 0.100%), (1nA, 1fA, 0.050%), (10nA, 10fA, 0.050%)
정밀하게 전압공급, 전압측정, 전류공급, 전류측정을 할 수 있어 반도체 소자의 전기적 성능을 평가하고 분석할 수 있는 장비입니다.
예를 들어, 반도체 소자인 다이오드, 트랜지스터 등의 전류-전압 특성을 0.1fA 및 1𝜇V 해상도로 측정하고 이러한 소자에 대해 신뢰성을 평가합니다. 그리고, QSCV(Quasistatic Capacitance-Voltage) 측정 방법을 통해 캐패스터의 C-V(Capacitance-Voltage) 특성을 측정합니다.
직접사용
고정형
시간별
[Hr] 50,000원
정밀 전압 및 전류 측정 가능(10 aA 전류 해상도)
QSCV(Quasistatic C-V) 측정 가능
450개 이상의 사용 가능한 애플리케이션 테스트 기능 제공
프로브 스테이션(Probe Station)과 핫 척(Hot Chuck)을 함께 사용하여 반도체 소자의 신뢰성 평가 가능
-. NBS(Negative Bias Stress), PBS(Positive bias stress), NBTI(Negative Bias Temperature Instability), PBTI(Negative Bias Temperature Instability) 등등
1. 본체 : SMU(Source-Measure Unit) Module, CVU Module, PMU Module 등의 모듈을 최대 9개까지 연결할 수 있는 슬롯 제공
2. SMU 모듈 - 4EA
-. 소스 및 측정을 할 수 있는 모듈 형식 타입
-. 전류 측정 범위 : ± 100nA ~ ± 100mA
-. 최소 전류 측정 분해능 및 정확도 : 100fA, 0.05% + 30pA
-. 전압 측정 범위 : ± 200mV ~ ± 200V
-. 최소 전압 측정 분해능 및 정확도 : 0.2uV, 0.012% + 100uV
-. 4-사분면 작동
-. Preamplifier(PA)를 사용하면 최소 10 aA 측정 분해능
3. 증폭 모듈 : Preamplifier(PA) -2EA
-. SMU 모듈의 측정 범위를 증폭시켜주는 장치
-. 전류 측정 범위 : ± 1pA ~ ± 10nA
-. 최소 전류 측정 분해능 및 정확도 : 10aA, 1.000%+ 10fA