MS TECH
MST8000CL
11년
부대장비(부가장치) (주장비:반도체 소자 파라미터 분석기)
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
2024-01-09
47,830,000원
없음
패키지 안 된 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하기 위한 소자의 패드에 전기적으로 접촉하는 장비
- 반도체 소자에 전기적 신호를 인가하기 위해 소자의 패드에 탐침함
- 반도체 소자의 온도에 따른 전기적 특성을 측정하기 위해 Hot chuck을 이용하여 반도체 소자의 기판 온도를 상승시킴
8“ 저 누설전류 chuck
8“ Hot Chuck 및 상온에서 150도까지 온도 제어기
300배 현미경 및 CCD Camera 시스템
탐침을 위한 고정밀 x, y, 및 z 용 Positioner
Dark Shield Box
직접사용
고정형
시간별
[Hr] 20,000원
패키지 안 된 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하기 위한 소자의 패드에 전기적으로 접촉하는 장비
- 반도체 소자에 전기적 신호를 인가하기 위해 소자의 패드에 탐침함
- 반도체 소자의 온도에 따른 전기적 특성을 측정하기 위해 Hot chuck을 이용하여 반도체 소자의 기판 온도를 상승시킴
반도체 소자 파라미터 분석기와 연동하여 반도체 소자의 I-V 특성 측정 가능
반도체 소자 파라미터 분석기와 연동하여 반도체 소자의 신뢰성 평가 가능
- NBS(Negative Bias Stress), PBS(Positive bias stress), NBTI(Negative Bias Temperature Instability), PBTI(Negative Bias Temperature Instability) 등등
1. 프로브 스테이션 본체
- 노이즈 레벨 : ~ 10 fA 보증
2. 200mm 저 잡음 진공 척
3. 200mm x 200mm 좌, 우 스테이지
- 정밀도 : 5 um 이하
- 이동거리 : 200mm x 200 mm
4. 300배 현미경 및 CCD Camera 시스템
5. 정밀 탐침 장치 - 4EA
- 이동거리 13 mm, 정밀도 : 1 um
6. 8“ Hot Chuck 및 상온에서 150도까지 온도 제어기
- 온도 정밀도: 1 도씨
- 온도 평탄도 3 deg c ( 중앙 & 모서리 )
7. Dark Shield Box