Bruker

없음

표면단차계측기(Surface profiler)는 반도체 소재 및 소자의 표면조도(거칠기), 코팅막의 두께를 정밀하게 측정하기 위한 장비이다. 접촉 방식으로 스타일러스(Tip)가 시료를 스캔하면서 코팅된 박막의 두께, 표면 거칠기 등의 시료의 표면특성을 분석하는데 사용가능하다. 박막 표면 위로 측정기의 stylus를 접촉하여 접촉된 stylus의 상하 방향 움직임을 전기적 신호로 바꾸어서 증폭한 신호를 표시하거나 기록하는 방식이며 코팅된 박막의 단차, 표면거칠기, Waviness, 코팅 전 후 스트레스 측정이 가능하다. 박막 두께뿐만 아니라 표면거칠기 Waviness를 분석할 수 있고 이상적인 조건에서 4Å보다 좋은 측정 반복도를 가진다. 간편한 스타일러스 교체를 위해 스타일러스 자동 정렬 기능을 통하여 사용자가 작업 도중 실수 없이 스타일러스 침 크기를 변경할 수 있음 (다양한 크기의 스타일러스 제공), 64비트 병렬처리 운전 및 분석 소프트웨어를 적용하여 3차원 측정 시료를 보다 신속하게 로딩하고 필터링하며, 다중 스캔 데이터베이스 분석이 가능하다. *메뉴얼 참조

스타일러스를 이용한 2차원 표면 스캔을 통해 반도체 박막의 두께와 표면 단차를 정밀하게 측정하도록 함. 증착된 반도체 필림의 두께를 정밀하게 측정함으로써 소자의 성능향상과 내구성, 신뢰성 향상 가능하며 반도체 박막 두께 측정, 1Å의 높은 해상도를 가진 정밀한 표면 거칠기 등의 표면 분석 *메뉴얼 참조