KLA
AlphaStep Profiler D-500
10년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2024-03-12
51,000,000원
없음
반도체소자 및 센서소자를 제조하는 연구 또는 실험실습 교육에서 각 단위공정을 통해 증착된 패터닝된 표면 프로파일, 표면단차, 표면조도, 응력 등의 박막 표면특성을 나노미터이하 수준의 분해능을 가지고 정밀하게 측정할 수 있습니다.
박막 표면의 물성 정보가 필요 없는 접촉식 측정 방식으로 샘플 표면을 따라 탐침이 움직이는 Z축 변위에 따라 레이저의 반사 각도가 변하는 Optical Lever 센서 기술을 사용해 높은 해상도를 얻을 수 있으며 탐침에 가해지는 힘을 더 민감하게 컨트롤할 수 있습니다. 이는 금속, 세라믹 재질의 경질 박막 뿐만 아니라 유기물, 고분자 등의 연질 박막의 두께 및 표면조도를 정확하게 측정할 수 있습니다.
기관의뢰
고정형
기타
80,000원
해당 모델은 미국 KLA사에서 제작하는 최신 버전의 표면단차측정기이며 재료 특성과 무관한 직접 측정 방식인 Stylus Profiler입니다. 미세 조정 가능한 힘과 여러 가지 종류의 탐침 선택으로 다양한 구조와 재료를 가진 샘플의 표면 단차를 정확하게 측정할 수 있습니다. 응용기술을 통해 재료 구조의 변화로 인한 거칠기와 응력 측정 역시 가능합니다.
장비의 구성은 측정부 본체, 구동 PC 및 분석프로그램, 외부 진동으로부터 측정 안정성을 확보할 수 있는 제진대, 그리고 검/교정 및 측정 신뢰도 확인에 사용되는 낮은 단차와 높은 단차 표준시료 2종이 포함되어 있습니다.
● AlphaStep D-500 Stylus Profiler
● Profiler 2D acquisition and surface analysis software
● 30 mm scan length
● Optical lever sensor head
- Vertical range: 0 - 1200 µm
- Force range: 0.03 - 15 mg
- Computer stylus force control
● Side view optics
- 3760 x 3120 µm FoV
- 5 MP color digital camera
- 4x digital zoom
- Keystone correction for angled optics
● Manual sample stage
- 140 mm diameter chuck
- XY stage movement: 20 x 80 mm
● Manual stage leveling
● 1 micron step height standard with KLA-Tencor certification
● 50 micron step height standard with KLA-Tencor certification
● PC configuration (minimum specifications):
- Windows 10, 64-bit
- 4 GB RAM
- 500 GB hard drive
- 16x DVD+/-RW Drive
- USB 2.0 (front and rear ports) and one Ethernet (RJ45) port
- MS Office
- 19-inch flat panel LCD monitor
● Stylus 5um Rad, 60 deg
● Power Cord, Cont. Europe
● Anti-Vibration Table, Passive