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장비정보

제작사
Keithley Instruments
모델 명
4200A-SCS

내용연수
10년
구분
주장비

용도
계측
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-03-12

취득금액
58,014,180원
인증정보
없음
기능
반도체 및 나노 디바이스 상태의 전기적인 특성 측정하여 물성 분석
장비 상세설명
반도체의 누설전류 측정, 항복 전압 측정, 전도도 및 저항 측정, 디바이스 수명 예측, Hot Carrier Test등 다양한 파라미터 측정이 가능하다. 슬롯 장착 형태의 PC 기반 장비로 최대 9개의 모듈을 필요에 따라 추가 장착이 가능하다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
기타

장비 사용료
[Hr] 80,000원

장비설명

소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신회성 및 고장 분석 연구를 가속화 할 수 있는 장비이며, 부가적인 기능으로 관련된 외부기기 즉 Probe station, LCR Meter, Pulse Generator, 스위칭 시스템 등을 제어하는 기능이 있어 모든 반도체 소자 개발 및 분석이 가능함

장비 구성 및 성능

• Voltage Source
- 범위 : ±200mV / ±2V / ±20V / ±200V
- 분해능 : 5uV at 200mV Range
- 정밀도 : 0.02%
• Voltage Measure
- 범위 : ±200mV / ±2V / ±20V / ±200V
- 분해능 : 5uV at 200mV Range
- 정밀도 : 0.02%
- 안정화 시간 : Less then 100us to 0.1%
- 임력 임피던스 : >10GΩ
• Current Source
- 범위 : ±1pA to ±1A
- 분해능 : 50pA at 1uA Range
• Current Measure
- 범위 : ±1pA to ±1A
- 분해능 : 100aA at 1pA Range
- 10 aA measure resolution with optional preamp
- 4-quadrant operation
- 2 or 4-wire connections

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