㈜파크시스템스
NX10
9년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경
2024-03-08
195,079,080원
없음
1. 제작된 소자에 있어서 wafer 단위에서 파괴없이 분석이 가능하여, 후 공정이 가능하므로 소재분석에 적절함
2. elastic-state와 Piezo 특성을 분리하여 측정이 가능한 장비로, 소재 특성에 한정된 결과를 얻을 수 있고 노이즈 제거가 가능함
<핵심 기능>
-Z Scanner
-XY Scanner
-Dielectric/Piezoelectric Properties
<상세설명>
1) PFM 기기는 신규 구축 장비로서 부품의 소재/소자 특성을 분석하기 위한 장비임
2) PFM은 부품을 제작시 wafer 단위로 소재의 특성과 wafer 단위의 uniformity를 측정이 가능하며, 제작된 소자의 분포 또한 측정이 가능한 장비임
3) PFM 장비는 에너지 저장장치 및 그린 모빌리티 부품의 감지 소재의 특성을 파악하는 장비로서 기구축된 장비와 신규 공정 장비와 연계하여 소재의 특성을 분석하여 부품의 성능을 높이는 공정에 적용하는 활용도 높은 장비로 기업의 수요가 높은 장비이며 해당 장비의 구축은 수요 기업의 만족도를 충족 시킬 장비임
기관의뢰
이동형
시간별
[Hr] 100,000원
1) PFM은 Sc-AlN 및 AlN 분석, 계측, 생산에서 사용 가능함
2) 센서 반도체 소자 제작 공정중 센서 소재의 특성를 비파괴 검사를 통하여 제작 전 압전 특성을 평가하여 최적의 센서 반도체 소자 제작을 위한 장비임
<장비구성>
1) Complete AFM System
2) Acoustic Enclosure & Vibration Isolation
3) HF2LI Lock-in set for DFRT PFM
<성능>
1) PFM은 Sc-AlN 및 AlN 분석, 계측, 생산에서 사용 가능함
2) 센서 반도체 소자 제작 공정중 센서 소재의 특성를 비파괴 검사를 통하여 제작 전 압전 특성을 평가하여 최적의 센서 반도체 소자 제작을 위한 장비임