(주)태성
TSG-NCMES-100
4년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2024-07-25
1,075,000,000원
없음
○ 공정
1) 연속공정 : 에칭→수세→박리→수세→건조
2) Flash Etching 단독 공정
3) Strip 단독 공정
○ 주요사양
①처리기판 두께 : 0.1~5t
②표준속도 : 2.0M/min (Cu 35㎛)
③최대기판 : 510 x 610mm
④최소기판 : 250 x 250mm
⑤장비속도 : 0.5~5.0M/min
⑥가이드폭 : 700~750mm
○ 본 장비는 현상공정이 진행 된 후 필요없는 동박 부분을 에칭액으로 부식 박리 후 잔존하는 D/F을 최종적으로 박리하여 미세회로를 형성하는 장비임
○ 차세대 Package(FC-BGA SAP공정 등) 및 반도체용 기판제조 등 광범위한 PCB 제품에 응용 가능한 Fine pattern 대응 장비로 고해상도의 패터닝을 구현 할 수 있는 장비임
○ 전용 지그를 사용함으로써 경성 및 연성 기판 모두 처리할 수 있을 뿐만 아니라 공정 진행 중에 기판 구겸짐, 찢어짐 등의 불량을 원천적으로 방지하여 공정 수율의 극대화를 구현할 수 있는 장비임
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 250,000원
○ 본 장비는 현상공정이 진행 된 후 필요없는 동박 부분을 에칭액으로 부식 박리 후 잔존하는 D/F을 최종적으로 박리하여 미세회로를 형성하는 장비임
○ 차세대 Package(FC-BGA SAP공정 등) 및 반도체용 기판제조 등 광범위한 PCB 제품에 응용 가능한 Fine pattern 대응 장비로 고해상도의 패터닝을 구현 할 수 있는 장비임
○ 전용 지그를 사용함으로써 경성 및 연성 기판 모두 처리할 수 있을 뿐만 아니라 공정 진행 중에 기판 구겸짐, 찢어짐 등의 불량을 원천적으로 방지하여 공정 수율의 극대화를 구현할 수 있는 장비임
○ 최소 회로 구현 정도 : 10Pitch급 (L/S = 5/5㎛)
○ 에칭 후 Uniformity(PCB 기판기준) : 95% 이상
○ 표준 기판 사이즈 : 510 × 610mm (510 × 510mm 까지 조정 가능)
- 표준 사이즈 이외의 제품은 별도의 JIG를 사용하여 사용 가능.
○ 컨베어 가이드폭: 180mm, JIG폭: 150mm, JIG길이: 1020mm
○ 처리기판 두께 : 0.04mm~0.8mm
○ 표준속도 : 2.5m/min
○ 장비속도 : 0.5~4.0m/min
【Fresh Etching 라인】
○ 기본 방식 및 사양
1) 기본방식 :
- Etching : Loader → Etching → Water Rinse 1 → ACID Rinse 1 → Water Rinse 2 → Air Cut → Hot Dryer → Unloader → Return Conveyor
2) 기본 사양
- 최대 기판사이즈 : 510mm(L) x 610mm(W)
- 최소 기판사이즈 : 510mm(L) x 510mm(W); JIG에 따라 최소기판사이즈 변경 가능
- 사용기판두께 : 0.04mm ~ 0.8mm
- 처리속도 : 0.5m/min ~ 4.0m/min (STD 2.5m/min)
- PASS LINE : 1100±50mm
- 장비재질 : PVC, SUS
- 사용약품 : 에칭액(CuCl2 + HCl + NaClO3)
- Etching단 길이 : 1300mm
- Process time : ~ 31 sec
- Temperature : 30 ± 2 ℃
- Spray pump : 3.7Kw x 1ea, Inverter Control
- Spray Unit : Ahead/Behind per 1set, Nozzle(Flat type)
- Spray Pressure : 2.0kgf/㎠
- Pressure Guage : 4kg/㎠ × 21 ea
3) Utility
- 전기 : 3 Phase 5 line x 380V x 50Hz(±0.2Hz)
- City Water : 1~3kg/cm2
- DI Water : 1~3kg/cm2
- Heating Water : 2~3kg/cm2 (60℃)
- Cooling Water : 1~3kg/cm2 (7~10℃)
- Compressor Air : 5~6kg/cm2 (60℃)
- Heat Exhaust : 65A-8EA / 75A-1EA, 31.86m3/min
- Alkali Exhaust : 75A-6EA, 21.24m3/min
- Conductivity : 1EA - Final Rinse
4) Conveyor Part
- Direction : Right to Left
- Body material :
Wet part - PVC 10t, 15t
Dryer - SUS304
Frame - SS41
LD/ULD - SS41
Cover - Yellow PVC
- Roller Pitch : 100mm pitch, 120 pitch
- Main Shaft : φ15 - SUS316
- Roller Shaft : φ10 - SUS316
- Gear : Wet - GUR + SUS Ring, Dryer - Magnet Gear
【Strip 라인】
○ 기본 방식 및 사양
1) 기본방식 :
- Strip : Loader → Strip → Water Rinse 1 → ACID Rinse 1 → Water Rinse 2 → Squeeze → Air Cut → Hot Dryer → Unloader → Return Conveyor
2) 기본 사양
- 최대 기판사이즈 : 510mm(L) x 610mm(W)
- 최소 기판사이즈 : 510mm(L) x 510mm(W); JIG에 따라 최소기판사이즈 변경 가능
- 사용기판두께 : 0.04mm ~ 0.8mm
- 처리속도 : 0.5m/min ~ 4.0m/min (STD 2.5m/min)
- PASS LINE : 1100±50mm
- 장비재질 : PVC, SUS
- 사용약품 : 박리액 : NaOH, 아민계
- Strip단 길이 : 2000mm
- Process time : ~ 48 sec
- Temperature : 30 ± 2 ℃
- Spray pump : 3.7Kw x 1ea, Inverter Control
- Spray Unit : Ahead/Behind per 1set, Nozzle(Flat type)
- Spray Pressure : 2.0kgf/㎠
- Pressure Guage : 4kg/㎠ × 21 ea
3) Utility
- 전기 : 3 Phase 5 line x 380V x 50Hz(±0.2Hz)
- City Water : 1~3kg/cm2
- DI Water : 1~3kg/cm2
- Heating Water : 2~3kg/cm2 (60℃)
- Cooling Water : 1~3kg/cm2 (7~10℃)
- Compressor Air : 5~6kg/cm2 (60℃)
- Heat Exhaust : 65A-8EA / 75A-1EA, 31.86m3/min
- Alkali Exhaust : 75A-6EA, 21.24m3/min
- Conductivity : 1EA - Final Rinse
4) Conveyor Part
- Direction : Right to Left
- Body material :
Wet part - PVC 10t, 15t
Dryer - SUS304
Frame - SS41
LD/ULD - SS41
Cover - Yellow PVC
- Roller Pitch : 100mm pitch, 120 pitch
- Main Shaft : φ15 - SUS316
- Roller Shaft : φ10 - SUS316
- Gear : Wet - GUR + SUS Ring, Dryer - Magnet Gear
【Etching, Strip line Loader, Unloader】
1) Loader(Conveyor Type)
- Input Conveyor : Servo Motor & Magnet Drive
- PCB Handling : 6 Axis Robot (Max load 13Kg)
Finger Adjustable According to Size, Vaccume
- PCB Clamp Unit : Jig Alignment, Clamp open/close(cilinder control)
Check clamp condition(Alarm & deliver to Idle Stage)
- Turn Unit : Servo Motor
- Output conveyor : Servo Motor & Magnet Drive
2) UnLoader(Conveyor Type)
- Input Conveyor : Servo Motor & Magnet Drive
- PCB Handling : 6 Axis Robot (Max load 13Kg)
Finger Adjustable According to Size, Vaccume
- PCB Clamp Unit : Jig Alignment, Clamp open/close(cilinder control)
Check clamp condition(Alarm & deliver to Idle Stage)
- Turn Unit : Servo Motor
- Output conveyor : Servo Motor & Magnet Drive
【Etching, Strip line Return Conveyor】
- Drive Motor : 0.4Kw x 3ea
- Jig Sensor : per 1ea
- Drive type : Roller
- Material : PVC 10t, 15t
【Auto Supply System】
1) Chemical Tank : 300 Liter
- metering pump : 0.2Kw X 1ea
- Chemical supply : Air pump
- Exhuast : 25A x 1ea
- Level Sensor : Float type x 4ea
- Material : PVC 10t
2) Mixing Tank : 600 Liter
- Supply pump : 0.26Kw X 1ea
- Circulation : By solenoid valve
- Exhuast : 40A x 1ea
- Level Sensor : Float type Level Sensor x 6ea
- Chemical supply : Develop Chemical Tank + DI water auto supply
Air valve control
- Concentrater : DM-2
- Material : PVC 10t, 15t
3) Storage Tank : 1300 Liter
- Supply pump : 0.4Kw X 1ea
- Circulation : By solenoid valve
- Exhuast : 40A x 1ea
- Metering pump : 0.2Kw X 2ea, 7L/min
- Heating Unit’s & Air Motor Valve Unit : 20A x 1ea, Heating time : 60min
- Temperature sensor : PT 100Ω x 2ea
- Level Sensor : Level Sensor x 4ea
- Use Temperature : 25 ~ 33℃
- Supply System : Panel Counting System
- Material : PVC 10t, 15t
○ 공사범위
1) 납입장소 : 한국공학대학교 첨단제조혁신관 2층 회로공정실
2) 납기 : 발주후 180일내 납품 조건
3) 제작사 : 기기 일식 및 기기 반입.
: 기기내 배관공사(기기말단 까지) 및 연결
: 기기내 배선공사(제어반 까지) 및 배전반 연결
: 기기내 배기공사(Damper 까지) 및 연결
: 시운전 및 조정
○ 제반사항
1) 무상 A/S기간은 설치 후 2년.
2) 검수
- 장비 입고 후 시운전까지 이상 유무를 확인한다.
- 장비설치, 정도검사 및 시운전은 납품처에서 책임진다.
- 구매자, 제조사의 관계자가 입회한 상태에서 시작품을 제작한 후 규격서와 부합되는지의 여부를 검수한다.
- 시작품제작은 구매자가 제안하는 재료 및 조건으로 수행한다.
3) 장비 운영 교육.
- 장비 정상 설치 후 무상교육 1주일 이상 실시.
4) 주요 spare parts를 구비하여 이상 발생시 교환 및 수리가 가능하도록 하며, 요청이후 24 시간 이내 점검에 응하여야 한다.
5) 제조업체 장비검사성적서 1부.
6) 한글 사용 설명서 2부.
○ 본 과제로 구축한 수직현상기를 이용하여 현상된 기판을 도금한 후 후공정처리를 위한 필수 장비로 반도체급 전자부품의 연구개발에 절실히 필요함
○ 비접촉멀티에칭박리시스템은 국내 업체에서 적극적으로 시장에 진출해 있으며, 고객 커스터마이즈, 사후관리 등도 유리함.
○ 업체 간 성능 편차가 없으므로 가격비교를 통해 우선 검토 대상으로 선정함.