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장비정보

제작사
Keyence
모델 명
VHX-7000

내용연수
11년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 광학현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-03-28

취득금액
89,100,000원
인증정보
없음
기능
본 장비는 광학현미경, OPT-SEM, 형상 표면 분석의 기능, 특징을 모두 갖춘 확대관찰 및 형상 분석을 위한 장비로
금형, 소성, 열처리 분야 등의 신뢰성 시험 및 시제품제작 지원을 위한 DATA 확보가 가능한 장비이다.
장비 상세설명
유광 금속 표면 등을 고해상도 CMOS 카메라를 이용하여 광학 현미경 대비 20배 이상의 피사계심도로 평면 계측, 3D 계측, 거칠기 측정, 오염 계측, 결정 입도 측정 등 다양한 측정을 할 수 있는 장비이다.
• 카메라 사양
- 촬상소자 : 1/1.8인치, 319만화소, CMOS 화상센서
- frame rate : 50 F/s
- 고해상도 모드 : 6244 x 4608 (2800만 화소) 이상
• 컨트롤러 사양
- 모니터 본체 일체형 (모니터 IPS 27인치, 4K 해상도 지원)
- 대응 화상 사이즈 : 50000 x 50000 픽셀 (연결시)
• 스테이지 사양
- XY스테이지 : 100 x 100mm
- X, Y ,Z축(렌즈부, 스테이지부 독립 제어) 전동
- 적재하중 : 5kg
• 렌즈 사양
- 배율 : 20 ~ 6,000배 (4개의 렌즈 보유 : 20 to 100x, 100 to 500x, 500 to 2,500x, 2,500 to 6,000x)
- 피사계 심도 : 최대 34mm 이상
- 관찰거리 : 25.5mm 이상
- 조명 : LED 링조명, 동축 낙사, 동축 편사, 링 편측 조사, 믹스 가능
• S/W 기능 사양
- optical shadow effect 모드(전방위 조명 촬영 후 미세 요철 형상 관찰)

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 50,000원

장비설명

시료의 관찰을 주 목적으로 하며, 일반 OM에서 심도문제로 고배율 관찰 시 Z축 영역으로 디포커스 되는 부분에 대해 심도합성을 사용하여 FULL 포커스로 관찰 가능한 장비이다.
2, 3차원에 대한 형상 관찰 및 측정이 가능하며 해당 이미지와 계측결과를 확보가능하여, 연구 및 제품 불량 확인 등에 용이하다.

장비 구성 및 성능

• 카메라 사양
- 촬상소자 : 1/1.8인치, 319만화소, CMOS 화상센서
- frame rate : 50 F/s
- 고해상도 모드 : 6244 x 4608 (2800만 화소) 이상
• 컨트롤러 사양
- 모니터 본체 일체형 (모니터 IPS 27인치, 4K 해상도 지원)
- 대응 화상 사이즈 : 50000 x 50000 픽셀 (연결시)
• 스테이지 사양
- XY스테이지 : 100 x 100mm
- X, Y ,Z축(렌즈부, 스테이지부 독립 제어) 전동
- 적재하중 : 5kg
• 렌즈 사양
- 배율 : 20 ~ 6,000배 (4개의 렌즈 보유 : 20 to 100x, 100 to 500x, 500 to 2,500x, 2,500 to 6,000x)
- 피사계 심도 : 최대 34mm 이상
- 관찰거리 : 25.5mm 이상
- 조명 : LED 링조명, 동축 낙사, 동축 편사, 링 편측 조사, 믹스 가능
• S/W 기능 사양
- optical shadow effect 모드(전방위 조명 촬영 후 미세 요철 형상 관찰)

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