- 모니터 및 컨트롤러
(1) 모니터, 컨트롤러 일체형
(2) 컬러 액정 27인치(가로의 화소수 3,840픽셀 세로의 화소수 2160픽셀)
(3) 이미지 연결 대응 화상 사이즈: 50,000×50,000만 픽셀
(4) 시스템 보안잠금 해제 가능
(5) 오토포커스, 유센트릭 위치 이동 기능
(6) 조명 전환 가능. 명시야, 암시야, 믹스 조명, 배면조명 조절 가능
(7) Optical shadow effect mode기능을 명암 및 요철 강조 기능 탑재
(8) 스테이지 위를 스캔하여 좁은 FOV에서도 현재의 시야 위치를 알 수 있는 내비게이션 기능 탑재
(9) 단차가 있는 시료에서도 풀 포커스 관찰이 가능한 심도합성 기능 탑재
(10) R이 형성된 시료에서 조명 맺힘을 최소화 하는 반사제거 기능 탑재
(11) 휘도 및 색상으로 면적계측 및 추가분석이 가능한 자동면적계측 기능 탑재
(12) 전방위 조명데이터를 취득하여 저장된 2D, 3D 이미지 파일에서도 조명 변경이 가능한 멀티라이팅 기능 탑재
- CMOS 카메라
(1) CMOS센서 1,222만 해상도
(2) 하이 다이나믹 레인지 RGB 각 화소 16bit 지원가능.
(3) 풀전동 방식으로 비접촉 렌즈 교체 가능
(4) 내장광원: 고휘도 내장 LED, 수명 40,000시간
- 콘솔
(1) 한글표기의 조작 콘솔 지원
(2) 콘솔 하나로, 스테이지 XYZ축 조작, 조명 및 배율 전환과 주요 분석기능 조작 가능.
- 3D소프트웨어
(1) 3D 이미지를 구현하여 수직, 수평, 대각 등 프로파일 분석 가능.
(2) 3D 분석 시, 기울기가 있는 시료에 대한 보정을 하는 기울기보정 기능 탑재
- 렌즈부
(1) 최소 500배 최대 2500배 확대 지원 렌즈
(2) 텔레센트릭 렌즈 탑재
(3) 풀전동 배율변경 가능
- 프리앵글 전동 스탠드
(1) 렌즈부 Z축, 스테이지 Z축, 스테이지 XY축 모두 전동 조절 및 콘솔 조절 가능
(2) 적재 가능 하중 5Kg
(3) 시료와 렌즈 충돌 방지를 위한 작업부 측면에 사이드 카메라 설치
(4) Z축 스테이지 모터분해능 0.1μm
(5) 좌 60도, 우 90도 틸팅 관찰 가능
(6) XY스테이지 이동 범위 50x50mm, 모터분해능 1μm
(7) 충돌 방지를 위한 렌즈 위치의 하한 설정 기능
(8) Z축 모터 스트로크 49mm