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장비정보

제작사
Kla-tencor
모델 명
AlphaStep D-500

내용연수
11년
구분
주장비

용도
교육
표준 분류
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-10-30

취득금액
61,270,000원
인증정보
없음
기능
Alpha-Step D-500 스타일러스 Profiler는 스텝 높이, 조도, 보우 및 응력의 2D 측정을 지원합니다.. 혁신적인 광학 레버 센서 기술로 고해상도 측정, 광범위한 수직 거리 및 낮은 힘 측정 역량을 제공합니다. 해당 스타일러스 측정 기법의 장점은 소재 물성과 상관없이 직접 측정된다는 점입니다. 조정 가능한 힘과 스타일러스의 초이스로 다양한 구조와 소재를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이를 통해 공정을 정량화하여 추가 또는 제거할 소재량을 파악하고 조도와 응력을 측정하여 구조 내 어떤 변화도 파악 가능합니다.
장비 상세설명
Alpha-Step D-500은 반도체 및 재료공정 분야에서 표면 형상 측정에 특화된 접촉식 표면 프로파일러로, 박막 두께, 식각 깊이, 스텝 높이, 거칠기 등의 미세 표면 형상을 정확하고 반복성 있게 측정할 수 있도록 설계된 장비입니다.
수십 나노미터(nm)부터 수십 마이크로미터(μm) 수준까지 넓은 측정 범위와 고해상도를 동시에 제공하며, 비균일하거나 복잡한 표면에서도 안정적인 접촉 측정을 수행합니다. 초정밀 Z축 해상도와 자동 레벨링 기능을 통해 반복 측정 시에도 높은 신뢰도를 보장하며, 정밀 공정 제어 및 품질관리에 적합한 결과를 제공합니다.
고정밀 스테이지와 고감도 센서를 장착한 스캐닝 암을 통해, 표면을 따라 물리적으로 프로브가 이동하며 높이 정보를 추출합니다. 이러한 접촉식 방식은 투명층 위의 금속층, 계단 구조, 딥 에칭 구조 등 다양한 형태의 시편에도 효과적으로 대응할 수 있습니다.
장비는 전용 소프트웨어인 KLA SurfaceProfiler 소프트웨어를 통해 구동되며, 사용자 친화적인 UI와 함께 다양한 분석 기능(두께, 거칠기, 곡률 등)을 제공하여, 측정 데이터의 정량적 해석과 자동 보고서 생성이 가능합니다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
일별

장비 사용료
[EA] 400,000원

장비설명

Alpha-Step D-500 스타일러스 Profiler는 스텝 높이, 조도, 보우 및 응력의 2D 측정을 지원합니다. 혁신적인 광학 레버 센서 기술로 고해상도 측정, 광범위한 수직 거리 및 낮은 힘 측정 역량을 제공합니다. 해당 스타일러스 측정 기법의 장점은 소재 물성과 상관없이 직접 측정된다는 점입니다. 조정 가능한 힘과 스타일러스의 초이스로 다양한 구조와 소재를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이를 통해 공정을 정량화하여 추가 또는 제거할 소재량을 파악하고 조도와 응력을 측정하여 구조 내 어떤 변화도 파악 가능합니다.

장비 구성 및 성능

1. 장비 구성
- 측정 본체: 벤치탑 타입의 스타일러스 방식 프로파일러
- 스캐닝 스테이지: X-Y 수동 이동 방식, 최대 6인치 웨이퍼 크기의 샘플 측정이 가능
- 스타일러스 프로브: 다이아몬드 팁이 장착된 접촉식 프로브로, 접촉력은 0.03mg에서 15mg까지 조절 가능하여 민감한 샘플도 손상 없이 측정 가능.
- 고해상도 컬러 카메라: 5메가픽셀(5MP)급의 카메라가 내장되어 있어, 샘플 정렬 시 고화질 영상 제공 및 정확한 포지셔닝이 가능
- 제어 소프트웨어: 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하는 전용 소프트웨어 KLA SurfaceProfiler가 포함되어 있어 측정, 분석, 데이터 저장 및 자동 보고서 생성 가능.

2. 장비 성능
- 스텝 높이 측정 범위: 나노미터 수준에서 최대 1200μm까지 측정 가능
- Z축 해상도: 최대 1Å (0.1nm) 수준의 고해상도
- X축 스캔 길이: 최대 약 30mm
- 스캔 속도: 1~200μm/sec까지 조절 가능
- 반복 정밀도: ±5Å 이하
- 접촉력 조절: 0.03 ~ 15mg 범위 내에서 자유롭게 설정 가능
- 측정 정확도 보정 기능:
키스톤 교정: 측면 광학계로 인한 왜곡 보정
아크 교정: 스타일러스의 아크 모션에 따른 오류 보정

3. 소프트웨어 정보 - KLA SurfaceProfiler
- 실시간 측정 및 분석 기능
- 자동 기준점 설정 및 오토 레벨링
- 스텝 높이, 조도(Ra/Rq), 곡률, 박막 응력 분석
- 결과 데이터 저장 및 자동 보고서 출력
- 사용자 친화적인 그래픽 기반 인터페이스 제공

4. 주요 응용 분야
- 스텝 높이 측정: 다양한 식각 및 증착 공정의 2D 스텝 높이 측정
- 표면 텍스처 분석: 조도(Roughness) 및 파형 측정
- 형상 평가: 표면 보우(Bow), 평탄도, 곡률 분석
- 응력 분석: 얇은 박막에 발생하는 응력 분포 평가

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