㈜파크시스템스

없음

고체 표면의 원자 및 나노미터 수준의 형상 측정 표면의 거칠기 및 높이 변화를 고해상도로 평가 물질의 기계적 특성(경도, 탄성 모듈러스 등) 측정 전기적 특성(표면 전하 분포, 전기 저항 등) 분석

주요 기능 및 특징
1. 정확한 XY 스캔과 Crosstalk 제거 - 독립적인 Closed-loop XY 및 Z Flexure 스캐너 - 낮은 Residual Bow로 평탄하고 직교적인 XY 스캔 제공 2. 사용자 경험 중심의 소프트웨어 및 하드웨어 - 쉬운 샘플 및 팁 교환- 직관적인 레이저 정렬3. Park SmartScan™ 소프트웨어- 자동 모드로 최적화된 조건에서 측정- 초보자와 전문가 모두에게 적합 4. 정확한 표면 측정 - 낮은 노이즈 Z 검출기로 정확한 샘플 위상도 제공 - True Non-Contact™ 모드로 비파괴 상호작용 유지
세부 사양
1. 스캐너 - XY 스캐너: 단일 모듈 Flexure, Closed-loop 제어 - 스캔 범위: 50 µm × 50 µm (옵션: 10 µm × 10 µm 또는 100 µm × 100 µm) - Z 스캐너: Flexure 가이드 고강도 스캐너 - 스캔 범위: 15 µm (옵션: 30 µm) 2. 스테이지 - Z 스테이지 이동 범위: 26 mm - XY 스테이지 이동 범위: 13 mm × 13 mm 3. 소프트웨어 - Park SmartScan™: AFM 시스템 제어 및 데이터 수집 소프트웨어 - 자동 모드: 빠른 설정 및 쉬운 이미지 획득 - 수동 모드: 고급 사용자 및 세밀한 스캔 제어 - Park SmartAnalysis™: AFM 데이터 분석 소프트웨어 - 독립형 디자인, 3D 렌더링 기능 포함 4. 광학 시스템 - 직접 축 비전: 샘플 표면 및 캐니레버의 직접 축 비전 - 시야: 480 × 360 µm (10배 대물렌즈 사용 시) - CCD: 1.2 M 픽셀, 5 M 픽셀 (옵션, 시야: 840 µm x 630 µm) 5. 표준 이미지 모드 -True Non-Contact, Contact,