한국에어로(주)
i-14075A4
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 압력장비
2024-06-10
87,829,830원
없음
* 진공펌프의 퍼지를 위한 질소 발생기 및 정밀한 유량 측정을 위한 소닉 노즐의 공압 주입을 통하여 진공펌프의 가동 및 종합성능평가 데이터 확보
* 차세대 소자 공정용 대용량 펌프(~200,000 L/min 수준)의 성능평가를 위하여 최대 100마력 이상의 모터 기반으로 11 m3/min(9 kgf/cm2)의 공압 공급(단, 관리 편의성 및 오일 누출을 통한 장비 오염을 고려하여 100% 무급유 타입의 장비를 채택)
* 본 오일 프리 에어 컴프레셔와 함께 냉동식드라이어, 건조기, 탱크 등의 설비를 구축한 후, 진공펌프 성능평가 시스템(반무향실, 소닉노즐, 테스트돔, 음향·진동 측정시스템, CVFM 등)을 함께 활용하여 국내 진공펌프 개발품에 대한 공인시험성적서 제공
대용량 진공펌프의 배기속도 및 내구성 평가를 위해 진공 펌프에 공급되는 건식 공압을 저유량(0.01 m3/h)부터 고유량(250 m3/h)까지 불확도 0.25% 이하 수준으로 실시간으로 매우 정밀하게 측정하기 위한 소닉 노즐 시스템과 300 slm 이상의 건조 질소 퍼지용 질소 발생기를 가동을 하기 위해서는 대용량 건조 공압 생성 및 주입을 위한 장비 및 설비 구축이 필수적이기 때문에 본 장비를 도입하고자 함
기관의뢰
고정형
기타
[Hr] 114,400원
대용량 진공펌프의 배기속도 및 내구성 평가를 위해 진공 펌프에 공급되는 건식 공압을 저유량(0.01 m3/h)부터 고유량(250 m3/h)까지 불확도 0.25% 이하 수준으로 실시간으로 매우 정밀하게 측정하기 위한 소닉 노즐 시스템과 300 slm 이상의 건조 질소 퍼지용 질소 발생기를 가동을 하기 위해서는 대용량 건조 공압 생성 및 주입을 위한 장비 및 설비 구축이 필수적이기 때문에 본 장비를 도입하고자 함
1.1. 기본 사양
1.1.1. Air compressor
Type : Oil Free 1Stage Water lubrication Single Screw Type
Electric Power : AC 380V, 3ph, 60Hz
Discharge pressure : 0.88 MPa
Pressure Range : 0.54 ~ 0.88 MPa
Free air delivery : 3.0~11.0 ㎥/min
Drive Type : Direct coupling drive
Cooling system : Air Cooling (inverter control)
Control system : Automatic start-stop or AUCS selectable
Main motor type : Totally-enclosed-fan cooled type permanent magnet Type
Starting Type : Inverter starting
Motor Power : 75kW, 200V Class, 8p
Discharge pipe : 50A (2“)
1.2. 무급유식 공기압축기 시스템의 주요 구성품
1.2.1. Separator
Type : Vertical
Service Fluid : Water & Air
Design Pressure : 1.0 MPa(abs)
Water Cpacity : 100L
Material : Stainless steel
Working Pressure range : 0.54 ~ 0.88 MPa
1.2.2. Cooling System
Type : Air cooling System fin and tube
Service fluid : Water
Cooling Fan & motor Type : Dual Siroco Fan & Ac Motor 7.5kW
Control System : Inverter Control
1.2.3. Automatic Water Supply & Drain System
Mode : This system a