자인주식회사
모델명없음
5년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 유체유량역학측정장비 > 유량계/수량계
2024-03-18
88,436,250원
없음
반도체디스플레이 공정용 진공펌프의 복합성능평가(배기속도, 내구성, 소비전력, 소음진동 특성 등)를 위하여 실제 공정에 필요한 유량에 맞춘 정밀한 유량 제어 및 공급을 위하여 사용되는 표준기급 유량계이며, 컴프레셔 시스템, 온도루프를 통하여 주입된 온도가 일정한 건식 공압에 대해 저유량(0.01 m3/h)부터 고유량(250 m3/h)까지 불확도 0.25% 이하 수준으로 측정이 가능하다.
대용량 진공펌프의 배기속도 및 내구성 평가를 위해 진공 펌프에 공급되는 건식 공압을 저유량(0.01 m3/h)부터 고유량(250 m3/h)까지 불확도 0.25% 이하 수준으로 실시간으로 매우 정밀하게 측정하기 위하여 사용되는 표준기급 유량계이며, 컴프레셔 시스템과 온도 루프를 통해 공급된 일정한 온도를 갖는 건식 압축 공기를 소닉노즐 시스템에 넣어 노즐 목의 마하수 1의 초킹(유동의 속도가 압력의 전파 속도인 음속과 같아져서 일정한 유속을 유지)발생으로 유량을 정밀하게 산출하는 것이 특징인 장비이다.
원
대용량 진공펌프의 배기속도 및 내구성 평가를 위해 진공 펌프에 공급되는 건식 공압을 저유량(0.01 m3/h)부터 고유량(250 m3/h)까지 불확도 0.25% 이하 수준으로 실시간으로 매우 정밀하게 측정하기 위하여 사용되는 표준기급 유량계이며, 컴프레셔 시스템과 온도 루프를 통해 공급된 일정한 온도를 갖는 건식 압축 공기를 소닉노즐 시스템에 넣어 노즐 목의 마하수 1의 초킹(유동의 속도가 압력의 전파 속도인 음속과 같아져서 일정한 유속을 유지)발생으로 유량을 정밀하게 산출하는 것이 특징인 장비이다.
- 유량: (0.01~250) m3/h 수준*(at 20 ℃, 1 atm)
- 노즐 목 크기: (0.1~6.1) mm
- 불확도: 0.25 % 수준
- 최대 압력: 10 kgf/cm2 (뱅크) / 7 kgf/cm2 (노즐)
- 소재: SUS 316