㈜파크시스템스
NX20
9년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경
2024-03-26
332,035,010원
없음
1) 측정 Resolution: 0.01nm 이하
2) Out-of-plane curvature: 1nm미만 (수직방향/소프트웨어 보정 없이, 80㎛ (snanner full size의 80%) 측정 시)
3) 최대 샘플 사이즈 : 200mm x 200mm ( 두께 : 최대 20mm )
4) 최대 샘플 중량 : 500 g
5) 샘플 이동거리(XY) : 최대 200mm x 200mm ( 고정밀 모터 스테이지 )
* X,Y축 해상도 및 반복도 : 0.5㎛ / 2㎛(단방향), 3㎛(양방향)
* Z축 해상도 및 반복도 : 0.08㎛ / 1㎛
6) 시료크기 : 2, 4, 6, 8 인치 진공 흡착
7) 100㎛ 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어
* 수평(XY) 측정영역 : 최대 100㎛ x 100㎛
8) 분리형 수직(Z) 스캐너 :
* 수직(Z) 측정 영역 : 최대 15㎛
* Z Resonant Frequency: 9 kHz
9) 수직(Z) 스테이지 이동 : 25 mm
10) 캔틸레버 변형의 검출 방식 : SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용
* 파장 : 830 nm ( Coherent Length : 50㎛ 미만 )
11) 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz
○ 장비 주요사양
- 최대 샘플 사이즈 : 200mm x 200mm ( 두께 : 최대 20mm )
- 최대 샘플 중량 : 500 g
- 샘플 이동거리(XY) : 최대 200mm x 200mm ( 고정밀 모터 스테이지 )
* X,Y축 해상도 및 반복도 : 0.5㎛ / 2㎛(단방향), 3㎛(양방향)
* Z축 해상도 및 반복도 : 0.08㎛ / 1㎛
- 시료크기 : 2, 4, 6, 8 인치 진공 흡착
- 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz
- SPM 측정 기능: Contact AFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, Force vs. Distance curve, FMM, Nanoindentation, MFM, EF M, DC-EFM, KPFM, Sideband KPFM, PFM, DFRT-PFM Conductive AFM, STM 그리고 Temperature Control Stage
- 비디오 광학 현미경 : 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 )
* 배율 : 780 배 이상 ( 19“ LCD 모니터 상 )
* 해상도 : 5M pixel ( 10X objective lens )
* 관찰 영역 : 840 mm x 630 mm
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 53,000원
1. 원자현미경은 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 탐침을 시료표면에 가져갔을 때 생기는 원자간의 상호작용력을 측정
2. 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석 함
3. 대기중에서 극초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체등 모든 시료의 표면 관찰
4. 하드웨어적인 Closed-loop Feedback 제어로 왜곡현상 없는 이미지 화상 도출
5. 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제
6. 튜브 스캐너 대비 약 3 ~ 5 배 속도
○ 장비 주요사양
- 최대 샘플 사이즈 : 200mm x 200mm ( 두께 : 최대 20mm )
- 최대 샘플 중량 : 500 g
- 샘플 이동거리(XY) : 최대 200mm x 200mm ( 고정밀 모터 스테이지 )
* X,Y축 해상도 및 반복도 : 0.5㎛ / 2㎛(단방향), 3㎛(양방향)
* Z축 해상도 및 반복도 : 0.08㎛ / 1㎛
- 시료크기 : 2, 4, 6, 8 인치 진공 흡착
- 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz
- SPM 측정 기능: Contact AFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, Force vs. Distance curve, FMM, Nanoindentation, MFM, EF M, DC-EFM, KPFM, Sideband KPFM, PFM, DFRT-PFM Conductive AFM, STM 그리고 Temperature Control Stage
- 비디오 광학 현미경 : 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 )
* 배율 : 780 배 이상 ( 19“ LCD 모니터 상 )
* 해상도 : 5M pixel ( 10X objective lens )
* 관찰 영역 : 840 mm x 630 mm