㈜파크시스템스

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- 최대 샘플 사이즈 : 200mm x 200mm ( 두께 : 최대 20mm )
- 최대 샘플 중량 : 500 g
- 샘플 이동거리(XY) : 최대 200mm x 200mm ( 고정밀 모터 스테이지 )
* X,Y축 해상도 및 반복도 : 0.5㎛ / 2㎛(단방향), 3㎛(양방향)
* Z축 해상도 및 반복도 : 0.08㎛ / 1㎛
- 시료크기 : 2, 4, 6, 8 인치 진공 흡착
- 100㎛ 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어
* 수평(XY) 측정영역 : 최대 100㎛ x 100㎛
- 분리형 수직(Z) 스캐너 :
* 수직(Z) 측정 영역 : 최대 15㎛
* Z Resonant Frequency: 9 kHz
- 수직(Z) 스테이지 이동 : 25 mm
- 캔틸레버 변형의 검출 방식 : SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용
* 파장 : 830 nm ( Coherent Length : 50㎛ 미만 )
- 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz
- SPM 측정 기능
: Contact AFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, Force vs. Distance curve, FMM, Nanoindentation, MFM, EFM,
DC-EFM, KPFM, Sideband KPFM, PFM, DFRT-PFM Conductive AFM, STM 그리고 Temperature Control Stage.
- 비디오 광학 현미경 : 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 )
* 배율 : 780 배 이상 ( 19“ LCD 모니터 상 )
* 해상도 : 5M pixel ( 10X objective lens )
* 관찰 영역 : 840 mm x 630 mm

AFM(원자힘현미경)은 미세 탐침을 시료에 근접시켜 시료와 탐침 끝 사이의 미세한 원자간 상호 작용을 이용한 표면 형상 측정 장치로 주사 프로브 현미경(SPM)의 일종이지만, 도전체 및 전연성 물질의 3차원 형상을 나노미터 스케일로 측정이 가능한 장치임