○ X-ray Source 유형 : Micro-focused monochromatic x-ray beam
○ X-ray beam size : 10~200㎛ 이상
○ Charge compensation : Dual b◦단색광 조합 주사형 엑스선 발생 장치
◦소스 타입 : Micro-focussed X-ray source or equivalent
◦엑스레이 타켓 타입 : Al anode
◦최소 빔 사이즈 (Min. Beam size) : 15μm
◦최대 분석 영역 (Max. analysis area) : 700 × 300μm
◦최대 파워 (Max. Power) : 100W
◦XPS Energy resolution on Ag sample : 0.50 eV
◦전자에너지 분석기와 감지기 : SCA (Spherical Capacitor Analyzer)
◦Detector : 128 channel
◦중화장치 : Dual beam low energy electron/ ion source
◦전자동 시료 장착대 및 및 시료 파킹 스테이지
◦Axis : X, Y, Z, T, R
◦Sample parking : 3 ea
◦Max. Beam Voltage: 4 kVeam (electron, Ar ion)
○ Specimen Plate : 40x40 mm 이상
○ Heating option : 600℃ 이상