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장비정보

제작사
나노-뷰
모델 명
SE MG-1000

내용연수
9년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-07-31

취득금액
48,023,500원
인증정보
없음
기능
박막의 물성을 결정하고 정밀 관리
편광 상태를 제어, 측정하는 초정밀 metrology
박막의 두께 및 굴절률, 물질의 조성비를 정밀하게 측정
원자 크기 이하의 두께 차이를 검출할 수 있으며 sub Å의 정밀도 광 계측
장비 상세설명
일립소미터의 경우 넓은 파장 대역에 걸친 스펙트럼 측정이 가능하므로 다층 박막의 구조 분석, 미지의 물질의 광 물성 분석 및 높은 두께 정밀도 등의 장점을 갖고 있어 반도체, FPD, LED, Solar Cell, 바이오 등의 부품 소재에 사용되는 Sub Å ~ 수 ㎛ 두께 범위의 단층 및 다층 박막의 두께, 굴절율, 흡수 계수, 밴드갭, 조성 등을 가장 빠르고 정확하게 분석할 수 있는 장비이다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[EA] 40,000원

장비설명

일립소미터의 경우 넓은 파장 대역에 걸친 스펙트럼 측정이 가능하므로 다층 박막의 구조 분석, 미지의 물질의 광 물성 분석 및 높은 두께 정밀도 등의 장점을 갖고 있어 반도체, FPD, LED, Solar Cell, 바이오 등의 부품 소재에 사용되는 Sub Å ~ 수 ㎛ 두께 범위의 단층 및 다층 박막의 두께, 굴절율, 흡수 계수, 밴드갭, 조성 등을 가장 빠르고 정확하게 분석할 수 있는 장비이다.

장비 구성 및 성능

[장비 구성]
① 분광타원계 : 1 SET
1) 광원부: 1 set
2) 광 측정부: 1 set
3) 시스템 제어부: 1 set
4) 측정 분석 시스템: 1 set

[장비 성능]
1) Spectroscopic Ellipsoparameter
• Operating voltage: 110 ~ 230 V
• Dimension: W 400 mm x D 300mm x H 300mm
• Weight: 15 kg
• Operation Mode: Stepping element (polarizer, retarder or analyzer)
• Wavelength range: 350 ~ 840 nm
• Detector type: 2048 (or 3648) CCD array multi-channel detector
• Variable Angle: 45° ~ 90° (step by step, manual step: 5°)
• Sample stage size: 4 inch (standard)

2) Software Program (OS-win OS)
• Multi layer modeling
• Regression analysis for n, k, thickness
• Volume fraction of composite material
• Operating software

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