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장비정보

제작사
Leica
모델 명
EM ACE600

내용연수
11년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
취득일
2023-08-28

취득금액
110,639,260원
인증정보
없음
기능
시편코팅기는 진공상태에서 시표 표면 위에 금속 및 카본코팅을 하여 동질의 전도성 층을 만들어주기 위한 장비임.
장비 상세설명
투과전자현미경 및 주사전자현미경은 강한 전압을 이용하여 분석하는 장비로 Polymer, bio 시료 등을 분석할 경우 강한 전압의 전자빔에 의해 시료가 데미지를 받을 수 있으며, 비전도성 시료를 코팅 단계없이 분석 할 경우 시료 내와 표면에 전자가 모여 Charge-up 현상을 발생, 이로 인해 2차 전자의 발생이 불안정하게 되며 정상적인 상의 관찰이 불가능하게 됨. 따라서 전자현미경 분석을 위한 시료 준비 시 시편코팅기를 활용한 시료 코팅은 반드시 필요한 단계임.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 10,000원

장비설명

시편코팅기(sample coater)는 주사전자현미경(SEM) 분석 시 시료를 영상화하기 위해 금속 및 카본 등을 시료위에 코팅하여 전하(Charging)을 방지하고 시료의 열적 손상을 줄여주며, 이차전자 신호를 향상시키는 장비로 Sputtering으로 얇고, 동질의 전도성 층을 형성하는 장비임.

장비 구성 및 성능

○ UltimateVacuum(mbar) : HV 5x10-5 이상
○ Integrated pump : Rotary pump & Turbo pump
○ Glow discharge 전류조절 범위 : 5-15 mA
○ Sputter 전류조절 범위 : 15-150 mA
○ Coating Time : max 990이상
○ Pump Type : oilfree
○ Working distance : min. 30mm, max. 100mm

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장비 매뉴얼