엠에스테크

AEC-Q100,JEDEC 규격 내 프로브스테이션

차량용 반도체 소자, 단품(IC), 모듈 단위 전기적 특성 분석 가능
JEDEC, AEC-Q 등 국제규격의 고온/저온 환경에서의 성능 평가가 가능
반도체 측정용 커브트레이서와 연계 사용 가능
Auto probing 이 가능하여 대량 측정 가능

차량용 반도체 소자, 단품, 모듈에 대한 I-V 및 C-V 측정 등 전기적 특성 분석이 가능하며, 반자동포지셔너 제어(semi-auto positioning)이 가능하여 패턴화된 웨이퍼 및 반도체 소자에 대한 대량 측정이 가능함
최대 3000V, 50A(Pulse) 인가가 가능하여, 차량에 들어가는 고전압용 반도체 특성 분석에 적합
누설전류 측정 범위가 50fA 수준으로 매우 미세한 전류도 측정 가능하여, 소자의 신뢰성을 분석할 수 있음
최대 300mm(12인치) 웨이퍼(Wafer) 측정이 가능하여 주요 국내외 차량용 반도체 기업에서 생산하는 제품 대응이 가능함