Hinds Instruments
Exicor DUV 193-150
11년
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 굴절계
2024-05-23
442,200,000원
없음
자외선 복굴절 측정부
- 자외선 광원: 193nm와 248nm, 2가지 파장 선택 측정
- 샘플 스테이지 : 150mm×150mm 이상의 2차원 복굴절 분포 측정을 위해 샘플의 X, Y축 이동 기능
- Retardation 측정 범위 :
0.05nm ~ 90nm (@193nm)
0.05nm ~ 120nm (@248nm)
- Retardation 분해능/재현성 : 0.01nm / ±0.08nm 이하 (@5nm retardation)
- 각도 분해능/재현성 : 0.01°/ ±0.5°이하 (@5nm retardation)
- 샘플에 조사되는 빛의 직경 : 5mm 이하 (FWHM 기준)
- 소프트웨어 기능
(1) 파장 선택 측정 기능 (193nm or 248nm)
(2) 샘플 스캔 범위 및 Step size 설정
(3) 2차원 설정 영역에서 자동 복굴절 측정 기능
(4) 측정결과의 2D or 3D 그래프 표시 기능
(5) 측정결과 표시 방법 선택 (Retardation only or Retardation & angle)
(6) 측정결과 저장 및 저장된 데이터 불러오기
가시광 복굴절 측정부
- 파장 : 570nm 측정
- 측정 가능 크기 : 직경 137mm
- Retardation 측정 범위 : 0~1/2λ or –1/4λ~1/4λ
- Retardation 측정 정밀도 : ±1nm 이하
- 2차원 복굴절 맵 측정 기능
- 일차원 선상의 복굴절 결과 표시 기능
- 한 지점의 복굴절 결과 표시 기능
- 측정 결과 저장 기능
193nm, 248nm 파장의 자외선 복굴절 측정부(Exicor DUV 193-150, Hinds Instruments)와 570nm 가시광 복굴절 측정부(NMV-280, Suzhou PTC optical instrument)로 구성됨
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 135,600원
193nm, 248nm 파장의 자외선 복굴절 측정부(Exicor DUV 193-150, Hinds Instruments)와 570nm 가시광 복굴절 측정부(NMV-280, Suzhou PTC optical instrument)로 구성됨
자외선 복굴절 측정부
- 자외선 광원: 193nm와 248nm, 2가지 파장 선택 측정
- 샘플 스테이지 : 150mm×150mm 이상의 2차원 복굴절 분포 측정을 위해 샘플의 X, Y축 이동 기능
- Retardation 측정 범위 :
0.05nm ~ 90nm (@193nm)
0.05nm ~ 120nm (@248nm)
- Retardation 분해능/재현성 : 0.01nm / ±0.08nm 이하 (@5nm retardation)
- 각도 분해능/재현성 : 0.01°/ ±0.5°이하 (@5nm retardation)
- 샘플에 조사되는 빛의 직경 : 5mm 이하 (FWHM 기준)
- 소프트웨어 기능
(1) 파장 선택 측정 기능 (193nm or 248nm)
(2) 샘플 스캔 범위 및 Step size 설정
(3) 2차원 설정 영역에서 자동 복굴절 측정 기능
(4) 측정결과의 2D or 3D 그래프 표시 기능
(5) 측정결과 표시 방법 선택 (Retardation only or Retardation & angle)
(6) 측정결과 저장 및 저장된 데이터 불러오기
가시광 복굴절 측정부
- 파장 : 570nm 측정
- 측정 가능 크기 : 직경 137mm
- Retardation 측정 범위 : 0~1/2λ or –1/4λ~1/4λ
- Retardation 측정 정밀도 : ±1nm 이하
- 2차원 복굴절 맵 측정 기능
- 일차원 선상의 복굴절 결과 표시 기능
- 한 지점의 복굴절 결과 표시 기능
- 측정 결과 저장 기능