㈜피앤테크
PF-M105-2
12년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
2023-05-02
1,120,000,000원
- N2, O2, SiH4, PH3 가스를 적용하여 P도핑 폴리실리콘 층 형성, 퍼니스를 사용한 어닐링 가능, 자동 시스템 적용한 웨이퍼 로딩/언로딩 가능, 양산성 검증장비로서 대용량 웨이퍼 처리 가능.
TOPCon 구조 태양전지 연구를 위한 실리콘 산화막 및 도핑된 실리콘 증착에 대해 개별 또는 연속 공정이 가능한 장비이며,
사용할 수 있는 기본 웨이퍼 크기는 M10(182x182 mm2)이고, 향후 M12(210x210 mm2)까지 업그레이드가 가능함.
공정시 tube 당 투입될 수 있는 실리콘 기판 수량은 M10 크기 기준으로 최대 1800매까지 로딩이 가능하며, 또한 back to back 방식으로도 로딩이 가능함. 산화막 및 도핑이 가능한 tube는 4종류의 가스(N2, O2, SiH4, PH3)를 개별 또는 동시에 주입 가능하다. 열처리용 tube는 2종류의 가스(N2, O2)를 개별 또는 동시에 주입할 수 있음. 모든 가스는 MFC로 제어가능하고, SiH4와 PH3 가스는 가연성과 맹독성 가스이므로 위 두 가스의 leak 발생을 확인할 수 있는 leak detector와 interlock이 갖춰져 있음. 본 장비의 공정 후 발생하는 분진 혹은 가스를 후처리할 수 있는 장치(scrubber)가 포함됨. 자동화 시스템을 통해 quartz boat에 실리콘 웨이퍼를 로딩/언로딩 가능함. 장비는 PC를 이용해서 통합 자동 제어되고, 제어 소프트웨어에는 능동적 자체감지 기능 (Self Diagnosis 기능, 소모품의 교환 시기 및 정기적인 장비 점검 시기 등을 스스로 확인하여 장비 가동 시간 증가와 장비 다운시간 관리가 가능하도록 함)을 포함. 시스템의 안전한 운용을 위해 Safety Interlock이 구현되어 있음.
기관의뢰 직접사용
고정형
일별
[Hr] 800,000원
- TOPCon 구조 태양전지 연구를 위한 실리콘 산화막 및 도핑된 실리콘 증착에 대해 개별 또는 연속 공정이 가능함.
- 장비의 기본 웨이퍼 크기는 M10(182x182 mm2)에 대응이 가능하고, 향후 M12(210x210 mm2)까지 업그레이드가 가능함.
- Tube 당 투입될 수 있는 실리콘 기판 수량은 M10 크기 기준으로 최대 1800매까지 로딩이 가능하며, 또한 back to back 방식으로도 로딩이 가능함.
- 실리콘 산화막 및 도핑된 실리콘을 증착하는 tube는 4종류의 가스(N2, O2, SiH4, PH3)를 개별 또는 동시에 주입이 가능함.
- 열처리용 tube는 2종류의 가스(N2, O2)를 개별 또는 동시에 주입이 가능함.
- 모든 가스는 MFC로 제어가능하며, SiH4와 PH3 가스는 가연성과 맹독성 가스이므로 위 두 가스의 leak 발생을 확인할 수 있는 leak detector와 interlock이 갖춰져 있음.
- 장비에서 발생하는 분진 혹은 가스를 후처리할 수 있는 장치(scrubber)가 포함됨.
- 자동화 시스템을 통해 quartz boat에 실리콘 웨이퍼를 로딩/언로딩 가능함.
- 장비는 PC를 이용해서 자동 제어되고, 제어 소프트웨어에는 능동적 자체감지 기능 (Self Diagnosis 기능, 소모품의 교환 시기 및 정기적인 장비 점검 시기 등을 스스로 확인하여 장비 가동 시간 증가와 장비 다운시간 관리가 가능하도록 함)을 포함. 시스템의 안전한 운용을 위해 Safety Interlock이 구현되어 있음.
- 장비 안전을 위하여 장비 구동을 위한 기본적인 유틸리티는 안전을 위하여 시스템과 자동 연동 방식으로 구성되어 있음.
1. 전장제어 부품 및 PLC
- PLC unit : PID Control, Recipe Edit, Trend, History, Interlock 기능
2. Gas parts
- MFC: N2, O2, SiH4, PH3 가스 적용
- Gas leak detector : SiH4, PH3 gas leak 감지 가능
3. Heater Module
- Heater : 7-zone 개별 온도 조절 가능
- Thermocouple : Profile T/C, Spike T/C
4. Quartz 및 SiC Parts
- Quartz process tube : M10~M12 기판용 quartz boat 2개 투입 가능
- Quartz boat : M10 기판 900매/boat 로딩 가능
5. Automation System
- Automation system : Automatic soft landing system (load/unload)
6. Toxic scrubber
- Toxic scrubber : Thermal & wet type scrubber